表面微觀結(jié)構(gòu)及樣品幾何形狀計(jì)量圖像顯微鏡

  因?yàn)楸砻嫖⒂^結(jié)構(gòu)對于表面功能特性的關(guān)系必需既考慮表面
形貌的高度，又要考慮形狀，所以，新的電容式儀器可以在表面
計(jì)量學(xué)上有助于填補(bǔ)空白。在表面性能中，振顫起著非常重要的
作用，但是在使用觸針式儀器時(shí)它被大大地忽略了，因?yàn)檎耦澲?br>期大于標(biāo)準(zhǔn)的截止值0.03in（0.76微米）。另一個(gè)原因是振顫主要
是平行于紋向的，面積式電容探測器對振顫的表面上得到的微觀
結(jié)構(gòu)測量值明顯地大于觸針法粗糙度值，這樣，新儀器有希望對
傳統(tǒng)表面提供改善微觀結(jié)構(gòu)性能的條件。

  實(shí)際上，表面性能取決于它磨損中的幾何形狀。通常，為了
得到較好的性能，在使用前將其峰頂從工件上去掉一部分，利用
經(jīng)過準(zhǔn)備性工序后的表面結(jié)構(gòu)作為被測對象，或用能在“加工后”
  的表面上測量出“磨損”和表面結(jié)構(gòu)值的儀器微觀結(jié)構(gòu)和性
能之間關(guān)系是合理的，電容原理儀器就是基于這個(gè)推斷而設(shè)計(jì)的。

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