超聲波切割加工是利用超聲振動工具在有磨料的液體介質中或干磨料中產生磨料的沖擊、拋磨、液壓沖擊及由此產生的氣蝕作用來去除材料，或給工具或工件沿一定方向施加超聲頻振動進行振動加工，或利用超聲振動使工件相互結合的加工方法。 在硬脆材料去除加工領域，機械加工利用工具對工件的作用力去除材料，工具磨損比較嚴重；電加工性能則受到工件材料導電性的限制；激光加工過程中產生的大量熱量易使工件表面形成裂紋與發(fā)生氧化；而超聲加工是非接觸加工，加工性能不依賴于材料的導電性，加工過程中產生的切削熱也很小，是玻璃、工程陶瓷、硅晶體、石英晶體等硬脆性材料有效的加工方法。 一般的難加工材料有高溫合金、鈦合金、高強鋼、復合材料、陶瓷材料等，這些材料硬度高、強度高、不易磨損、不易氧化，以及擁有良好的耐熱性、耐腐蝕性等優(yōu)點，已經越來越廣泛地應用在機械制造、國防以及航空工業(yè)等領域。例如陶瓷材料是典型的難加工材料，一直以來磨削是之前的加工方法。隨著技術的發(fā)展，人們嘗試采用超聲波、電火花、離子束、激光及復合加工等方法來加工陶瓷，并且取得了一定的研究成果。其中超聲波加工陶瓷材料有著獨特的優(yōu)勢。