光學(xué)金相顯微鏡觀察時(shí)通常將樣品表面用砂紙磨光
表面吸附層的形成,將對(duì)SEM 觀察產(chǎn)生以下不利影響
:
1.降低材料的導(dǎo)電性氧化、吸附的結(jié)果是在樣品表面
形成一喜憂參半導(dǎo)電性較差的氧化膜或吸附層,顯著降低
了材料的導(dǎo)電性能,使SEM 無(wú)法進(jìn)入正常的隧道電流狀態(tài),
因而無(wú)法實(shí)現(xiàn)用SEM 對(duì)樣品表面組織結(jié)構(gòu)的直接觀察。
2.影響SEM 觀察結(jié)果即使能勉強(qiáng)走入隧道電流狀態(tài),
由于表面氧化及吸附將導(dǎo)致合金表層原子發(fā)生結(jié)構(gòu)重構(gòu),
進(jìn)而改變表層原子的假象。
需要指出,表面氧化吸附現(xiàn)象幾乎是普遍存在的,我
們只能設(shè)法減少表面氧化、吸附的程度,而無(wú)法完全避免。
材料微觀組織顯示與原子分辨不同,用SEM 對(duì)材料組
織形態(tài)進(jìn)行分析時(shí)首先需采取適當(dāng)措施,顯示材料的內(nèi)部
組織形態(tài)及精細(xì)結(jié)構(gòu)特征。
在經(jīng)典的光學(xué)金相顯微鏡觀察時(shí),通常將樣品表面用
砂紙磨光,再用機(jī)械或化學(xué)拋光,然后將樣品放入適當(dāng)?shù)?br>浸蝕劑內(nèi)進(jìn)行化學(xué)腐蝕,因?yàn)楹辖鸬奈⒂^組織具有不均勻
性,樣品表面顯示出樣品的微觀組織形態(tài),顯然,在進(jìn)行
使用過(guò)高的放大倍數(shù)的原因觀察時(shí),也可用浸蝕方法顯示
樣品的組織形態(tài),但需要指出,SEM 對(duì)樣品表面的微觀起
伏特別敏感,因而在浸蝕前,應(yīng)采用適當(dāng)方法獲得具有原
子尺度平整的表面;在浸蝕過(guò)程中,應(yīng)嚴(yán)格控制各類(lèi)組織
浸蝕程度。
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