較粗糙的表面任意兩點(diǎn)光學(xué)距離測量顯微鏡

全息照像干涉測量和普通干涉測量是有區(qū)別的。它能利用同
一個(gè)光路記錄不同時(shí)刻的波前，這就能用由真實(shí)物體所得到的干
涉圖與標(biāo)準(zhǔn)物體干涉圖進(jìn)行比較。此時(shí)，一般說來，對光學(xué)器件
的質(zhì)量要求并不十分重要。因?yàn)榧词构鈱W(xué)零件不完善，兩個(gè)干涉
波的變化程度仍是一樣的。

  較粗糙的表面，用全息照像干涉測量技術(shù)比較方便，只是在
全息圖方向上要散射足夠的光量。它不需要比較標(biāo)準(zhǔn)樣件，就可
以進(jìn)行任意的相對測量。例如，可以測量當(dāng)表面變形或受壓縮時(shí)

，
表面移動的情況。這時(shí)，原始的表面狀況，可以用作最終表面狀
況的標(biāo)準(zhǔn)樣件
全息照像干涉測量技術(shù)可以在不同時(shí)間以真實(shí)比例進(jìn)行兩次
曝光。這樣就可以同時(shí)見到物體變形的干涉圖象的變化。實(shí)際上
的問題在于，在顯影之后～定要把全息圖放還到記錄時(shí)的原始位
置上。

  再現(xiàn)時(shí)，可同時(shí)照射全息圖和物體。如果以原來的參考光波
照射全息圖，使之精確地還原到原始狀態(tài)，則所成的虛像不僅象
這個(gè)物體的精制復(fù)制品，而且能與空間的物體相重合，也有著與
物體相同性能的光散射襲面形狀。為此，觀察時(shí)必須使物體光束
和參考光束形成的干涉組織與記錄在全息圖上的組織重合，其精
確度要達(dá)到條紋間距離的十分之一以內(nèi)。如果物體光束和參考光
束之間的角度小，這也是容易做到的。
  如果物體受到變形，那么，由觀察點(diǎn)到表面上任意點(diǎn)的光學(xué)
距離也起變化，這個(gè)距離是相當(dāng)予標(biāo)準(zhǔn)樣品表面(虛像表面)各
點(diǎn)的相對距離，由表面各點(diǎn)到照射兩個(gè)表面的光源的距離也發(fā)生
變化。由同一部位上、但是從表面位移部位上散射的相干光束，
在由光源到觀察平面的光路上，相應(yīng)地得到了相對的相位移動。
由于相位的移動，以及由它引起的形成光波振幅的變化，產(chǎn)生了
干涉圖象。這種圖象可以表示物體表面變形的性質(zhì)。

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