激光光電顯微鏡在測量中的優(yōu)點是可不接觸工件

在利用直徑兩邊緣繞射象之間的間隔測量直徑的測量裝
置中，必須有驅動部分及顯象部分。驅動部分的作用是使測量
繞射象的光學系統的二光軸間隔始終等于被測工件的公稱尺
寸。而顯象部分的作用是把兩個繞射象各放大20倍，再把經
過放大的象，用光導纖維柬在圓周上等間隔地呈環(huán)狀排列，制
成轉子。勻速地轉動轉子，用光電法檢測環(huán)狀纖維端部的明
暗位置，這樣就可以通過求回轉位置來求出繞射象的直線距
離。

用激光光點檢測位置

  用激光光點檢測位置的方法稱光觸針法。它是用光點代
替與被測件接觸的觸針尖。此方法的優(yōu)點是不接觸工件就可
以進行測量，這是因為使用了聚光性好、亮度大的激光。所
以，光觸針法在坐標測量中具有很高的使用價值。

  用一般透鏡把激光聚集成象，稱為聚焦型激光顯微鏡，測
量對象主要是物體的位置和形狀。此處介紹其中一部分，其
余部分在光電顯微鏡中介紹。

  根據被測量位置上入射光束和反射光束的關系，把光點
檢測位置分為兩類:一類是入射光軸和反射光軸同軸，另一類
是兩光軸有一定傾角。

由于激光光點位于被測面之前或之后，兩輸出的差就變
為正或負，測量系統根據伺服系統的移動進行測量．
  由于光電管排列的數量多，即使被測面處于激光點位
置的最外側也能定出被測面的大體位置。定位穩(wěn)定性為
±0．02mm。用硅光電池可以清晰地測出漫反射光，這是因為
激光有很高的亮度和聚光性。

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