表面粗糙度的測量

  在一般表面粗糙度測量中，觸針法應用最多，由于用針尖
半徑非常小韻觸針接觸加工巾的工件表面，所以很難獲得高
精度測量。目前，在加工中測量工件表面粗糙度；還沒有最
有效的測量方法。當工件材質與加工方法一定時，也可以用
從工件表面反射來的反射光進行測量。

  在表面粗糙度的光學測量中，除反射光分布法外，還有光
波干涉法和光切法。光波干涉法是以光波波長為測量基準，這
種方法靈敏度嵩狙如果表面不是經(jīng)研磨的光潔表面時，很難
用這種方法測量。特別是由于在加工中工件韻振動，大大地
妨礙了這種方法的應用。光切法是利用前面講的激光光點或
激光射線對工件掃描，測出表面粗糙度。

很早以前就研究了加工表面的粗糙度與工件表面漫反射
光的關系。因為這種測量方法是非接觸測量，測量方法簡單易行
  但是，漫反射光分布測量法是測量表面的平均反射光，如
果認為表面粗糖度是統(tǒng)計值，利用這種方法是可以的，但是要
了解粗糙度曲線的全面形狀，此種方法就有其不足之處

  加工表面漫反射光的分布，不但受表面凹凸高度的影響，
也受凹凸形狀、表面紋理微細裂紋等影響。由于加工零件材質
不同，反射光的波長和強度也發(fā)生變化：因此利用漫反射光
分布測量表面粗糙度時，一般需事先確定加工材料和加工方
法。

光點位移測量法與前面所敘述的激光光點測量法相似。
光點測量位置是在光軸方向上測出工件表面反射來的反射象
點的位置。用光點測量表面粗糙度時，是在垂直于光軸的直
線上(在熒光屏上)測量表面粗糙度形成的反射象點的位置。
為了成象，必須機械地掃描被測表面，因此也可將這種裝置看
作是一種掃描型的激光光電顯微鏡。

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復制http://www.sgaaa.com)