SEM電鏡屬于大型精密儀器-倍率和圖像的分辨率較高

  SEM屬大型精密儀器，要發(fā)揮它的高精密度作用，就須做好調(diào)試工作。而SEM的主
要性能指標狀態(tài)是動態(tài)的，隨著使用時間和條件的變化，性能會有不同程度的降低，因此要
經(jīng)常調(diào)整才能保證較佳的工作狀態(tài)。調(diào)試主要包括照明系統(tǒng)的對中，燈絲飽和電流的調(diào)節(jié)，
光學(xué)系統(tǒng)的對中和物鏡、消像散的調(diào)節(jié)。高分辨率的儀器，未必能獲得高分辨率的圖像；只
有精細制作的樣品，才能保證圖像的高質(zhì)量。

  用SEM觀察時要目的明確，并根據(jù)樣品的性質(zhì)和結(jié)構(gòu)特征，選擇合適的加速電壓、
放大倍數(shù)、照明強度和灰度指數(shù)。生物樣品在高加速電壓下，易產(chǎn)生充放電現(xiàn)象或輻射損
傷，所以不應(yīng)較長時間觀察或拍照。但加速電壓較高時，電子束能量大，激發(fā)的二次電子數(shù)
量多，有利于提高圖像的分辨率，降低信噪比和增大反差，有利于高倍率觀察。所以要綜合
考慮，選擇適當?shù)募铀匐妷骸?br> 
  要保證圖像清晰、信息飽滿，聚焦操作亦是關(guān)鍵。事先要熟悉樣品的方位、結(jié)構(gòu)
特征和需放大倍數(shù)，使觀察部位一開始就進入視野，節(jié)省尋找時間。然后調(diào)到比照相所需
數(shù)高一二個檔級的倍數(shù)，仔細聚焦和調(diào)節(jié)消像散。聚焦清晰后，立即退回所需照相倍數(shù)拍
照，以縮短聚焦時間。對于表面粗糙，凹凸差異很大的樣品，要求有較大的焦深才能使粗
糙程度呈現(xiàn)出來，要選用小的物鏡光闌和大的工作距離。低倍觀察時，視野擴大，要選用
較小的聚光鏡電流，大的物鏡光闌和工作距離。高倍觀察，主要考慮分辨率，則要求束斑
直徑小，聚光鏡電流大，這時輻照區(qū)域很小，二次電子信號很弱，因此要采取較長的曝光
時間拍照。

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