生產(chǎn)高質(zhì)量的電子顯微鏡，須作非常精確的設(shè)計

顯微鏡最重要的特性是其分辨能力。分辨能力的定義是，顯
微鏡能提供清晰客的兩點間的最小距離，這些象雖有部分重疊，
但在充分大的放大率下仍能辨明而確定無疑。對于光學(xué)顯微鏡，
顯微鏡放大率可表示為物鏡放大率與目鏡放大率的乘積。但是，
放大能力應(yīng)與物鏡的分辨能力相適應(yīng)。不論目鏡放大率多大，只要
兩個相鄰點已預(yù)先用物鏡在中間象中分辨出來，它就能加以分辨。
同光學(xué)顯微鏡一樣，聚光透鏡使電子束集中射到試樣上。由于
其結(jié)構(gòu)上的原因，試樣(應(yīng)該很薄)使電子柬得到調(diào)制。此外，
物鏡產(chǎn)生放大約100---300倍的初象。最后，一部分中間象被投影
透鏡放大在熒光屏或照相片上。在各個透鏡前面，都有限制射束
立體角的光闌．電子從燈絲到熒光屏的整個軌跡和試樣都在真空中，
以消除電子衰減和散射。試樣照明隨光闌和通

過聚光透鏡的電流而改變，而放大率則隨通過物鏡和投影透鏡的

電流而改變．
  為了生產(chǎn)高質(zhì)量的電子顯微鏡，必須作非常精確的設(shè)計。例
如，進行顯微鏡豎筒的機械設(shè)計時所需的精度是，在大于lm的
長度內(nèi)，各種子組件的同心度應(yīng)能達到幾十微米。另一個重要的
要求是電參數(shù)的穩(wěn)定性，因為終象是用照相的方法得到的。雖然
顯微鏡的瞬時工作性能可能很高，但曝光時象的位置或大小的任
何變化都會降低質(zhì)量。
  透射電子顯微鏡的一個特性是電子束的穿透本領(lǐng)低，因而用
它來研究表面時已產(chǎn)生了問題．為了克服這種缺點，要用表面復(fù)
制模。引用這種中間工序，具有下面幾個缺點

(a)由于其厚度小會引起脆化，復(fù)制模必須支承在柵極止。

這意味著這種復(fù)制模部分地被不透明的柵條所屏蔽；

(b)制造復(fù)制模時用到的多道工序會改變其分辨能力；

 (c)不管制造復(fù)制模時多么仔細，這層膜再現(xiàn)表面細節(jié)的

(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制http://www.sgaaa.com)