生產(chǎn)高質(zhì)量的電子顯微鏡,須作非常精確的設(shè)計
顯微鏡最重要的特性是其分辨能力。分辨能力的定義是,顯
微鏡能提供清晰客的兩點間的最小距離,這些象雖有部分重疊,
但在充分大的放大率下仍能辨明而確定無疑。對于光學(xué)顯微鏡,
顯微鏡放大率可表示為物鏡放大率與目鏡放大率的乘積。但是,
放大能力應(yīng)與物鏡的分辨能力相適應(yīng)。不論目鏡放大率多大,只要
兩個相鄰點已預(yù)先用物鏡在中間象中分辨出來,它就能加以分辨。
同光學(xué)顯微鏡一樣,聚光透鏡使電子束集中射到試樣上。由于
其結(jié)構(gòu)上的原因,試樣(應(yīng)該很薄)使電子柬得到調(diào)制。此外,
物鏡產(chǎn)生放大約100---300倍的初象。最后,一部分中間象被投影
透鏡放大在熒光屏或照相片上。在各個透鏡前面,都有限制射束
立體角的光闌.電子從燈絲到熒光屏的整個軌跡和試樣都在真空中,
以消除電子衰減和散射。試樣照明隨光闌和通
過聚光透鏡的電流而改變,而放大率則隨通過物鏡和投影透鏡的
電流而改變.
為了生產(chǎn)高質(zhì)量的電子顯微鏡,必須作非常精確的設(shè)計。例
如,進行顯微鏡豎筒的機械設(shè)計時所需的精度是,在大于lm的
長度內(nèi),各種子組件的同心度應(yīng)能達到幾十微米。另一個重要的
要求是電參數(shù)的穩(wěn)定性,因為終象是用照相的方法得到的。雖然
顯微鏡的瞬時工作性能可能很高,但曝光時象的位置或大小的任
何變化都會降低質(zhì)量。
透射電子顯微鏡的一個特性是電子束的穿透本領(lǐng)低,因而用
它來研究表面時已產(chǎn)生了問題.為了克服這種缺點,要用表面復(fù)
制模。引用這種中間工序,具有下面幾個缺點
(a)由于其厚度小會引起脆化,復(fù)制模必須支承在柵極止。
這意味著這種復(fù)制模部分地被不透明的柵條所屏蔽;
(b)制造復(fù)制模時用到的多道工序會改變其分辨能力;
(c)不管制造復(fù)制模時多么仔細,這層膜再現(xiàn)表面細節(jié)的
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