在慶祝中國(guó)共產(chǎn)黨百年華誕之際，由國(guó)家發(fā)改委立項(xiàng)支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步輻射光源（HEPS）首臺(tái)科研設(shè)備于6月28日上午安裝，為其提供技術(shù)研發(fā)與測(cè)試支撐能力的先進(jìn)光源技術(shù)研發(fā)與測(cè)試平臺(tái)（PAPS）啟動(dòng)試運(yùn)行。其中，中科科儀控股公司中科科美研制的直線式勞埃透鏡鍍膜裝置及納米聚焦鏡鍍膜裝置也于同一天正式投入使用。

直線式勞埃透鏡鍍制裝置及納米聚焦鏡鍍制裝置可實(shí)現(xiàn)各類(lèi)高能物理裝置聚焦鏡、單色鏡、勞埃鏡、納米聚焦鏡等膜層制備。在兩裝置研制過(guò)程中，中科科美突破了多項(xiàng)先進(jìn)制造技術(shù)：

精密加工制造技術(shù)，實(shí)現(xiàn)大型真空腔室及復(fù)雜運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)精密加工與裝配、減震及超潔凈等嚴(yán)苛設(shè)計(jì)指標(biāo)；大型真空系統(tǒng)超高真空獲得技術(shù)，實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、內(nèi)部零部件放氣量大的大型真空腔室系統(tǒng)極限真空度達(dá)到10-6Pa；高精度直線運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)距離導(dǎo)軌運(yùn)行平行度達(dá)到微米量級(jí)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)速率穩(wěn)定性控制在千萬(wàn)之一以?xún)?nèi)；復(fù)雜鍍膜工藝技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高精度納米量級(jí)萬(wàn)層鍍膜工藝，膜厚精度控制在0.1納米以?xún)?nèi)。經(jīng)相關(guān)主管部門(mén)和院所專(zhuān)家委員會(huì)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試，高精密鍍膜裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、制造工藝先進(jìn)、主要性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品水平，填補(bǔ)了該領(lǐng)域內(nèi)多項(xiàng)國(guó)內(nèi)技術(shù)空白。

直線式勞埃透鏡鍍制裝置

HEPS是國(guó)家“十三五”重大科技基礎(chǔ)設(shè)施項(xiàng)目之一，該項(xiàng)目于2019年6月29日開(kāi)工建設(shè)，建設(shè)周期6.5年。建成時(shí)，HEPS將成為中國(guó)第一臺(tái)高能量同步輻射光源之一，為基礎(chǔ)科學(xué)和工程科學(xué)領(lǐng)域原創(chuàng)性、突破性創(chuàng)新研究提供重要支撐平臺(tái)。中科科儀控股公司中科科美憑借在真空系統(tǒng)集成領(lǐng)域深厚的專(zhuān)業(yè)技術(shù)積淀、強(qiáng)大的整體方案解決能力和一站式服務(wù)能力參與到該項(xiàng)目中，為國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施項(xiàng)目實(shí)施和技術(shù)攻關(guān)貢獻(xiàn)了力量。