電子顯微鏡的物鏡、中間鏡及投影鏡-分辨率與波長

物鏡、中間鏡及投影鏡統(tǒng)稱為成像系統(tǒng)。最近的電子顯微鏡也有四
級(jí)、五級(jí)透鏡的，但是基本形式是這種三級(jí)透鏡，其他的透鏡是以
像差，放大倍數(shù)等輔助措施為目的的。

  試樣室
  試樣室安裝有氣鎖機(jī)構(gòu)，以便將試樣放入真空中。最近的裝置
中，為了更快地進(jìn)行試樣的更換，也有能放置6～8個(gè)試樣的試樣室
，可以自由地選擇試樣進(jìn)行觀察。試樣室中重要的是試樣的微調(diào)裝
置。電子顯微鏡的分辨率為l埃，拍攝這樣高分辨率的照片時(shí)的曝
光時(shí)間需要10秒以上。也就是說，必須有一個(gè)先決條件，開動(dòng)試樣
微調(diào)裝置時(shí)，平穩(wěn)起動(dòng)后停止，在10秒鐘內(nèi)連l埃的移動(dòng)都不允許
。這與透鏡的像散一樣．是一種十分重要的機(jī)構(gòu)。拆開試樣室清洗
時(shí)也應(yīng)該注意到這一點(diǎn)。

  上述的是過去類型的試樣室。稱為頂裝式的試樣室。最近使用
的從物鏡磁極的橫方向?qū)⒃嚇硬迦氲膫?cè)裝式。這種型式的試樣宣對(duì)
于X射線分析是必需的。也就是說，為了進(jìn)行幾百埃的微區(qū)X射線分
析，必須把電子束縮小到與它相同的尺寸。這種方法，僅加強(qiáng)上述
的第一會(huì)聚鏡的激磁是不夠的，而是要加強(qiáng)物鏡激磁+并將其前磁
場(chǎng)作為第三會(huì)聚鏡使用。因此試樣的位置必然靠近物鏡中心的部份
，而側(cè)裝的試樣室，便能把試樣置于滿足這種條件的位置上。
  分辨率
  光學(xué)顯微鏡的透鏡中有各種像散，它是用幾組玻璃透鏡組合的
方法來修正這種像散的。然而。最后決定分辨率的是受光的波長所
限制的衍射像散。把光學(xué)顯微鏡下可分辨的兩點(diǎn)間的最小距離定義
為分辨率

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