X射線微區(qū)分析定量技術(shù)的基本原理-測量顯微鏡

  如果設(shè)定了以上的條件，那么有許多衍射圖像也可以用手算
進(jìn)行解析。如果采用簡單的電子計(jì)算機(jī)的話，解析的范圍就會更加
擴(kuò)大?？傊?，不論怎樣解析，對這類物質(zhì)進(jìn)行某些定性，并且知道
它們的晶系及晶格常數(shù)．都要有一定的條件，只用單晶的衍射花樣
來定性完全未知的物質(zhì)是不可能的。

  X射線分析法
  電子顯微鏡是把電子束照射到試樣上，從試樣中能夠放出它固
有的X射線。如果把電子束變細(xì)，使它僅僅照在分析目標(biāo)的顆粒(或
區(qū)域)上，然后做X射線分析．就可能進(jìn)行顆粒組成元素i內(nèi)分析。
這樣就可以從完全未知的物質(zhì)中得到一些信息。再把這些信息與上
述的電子衍射法并用，便可以在鑒定未知物質(zhì)方面開辟瓶的途徑。

  最近幾年，X射線分析儀采用了美國所發(fā)明的能量分散型X射線
檢測儀。這種檢測儀與過去的波長分散型相比，其受光面積大(不
使用分光晶體)。因?yàn)闄z測效率高，所以電子束對試樣的照射量可
以很小。這與照射面積可以變小的理論有關(guān)。

但是，這里所檢測出的鐵和錳也有可能是包含在針狀晶體之內(nèi)的。
這就是這種分析方法的缺點(diǎn)。即使電子束確實(shí)照射在針狀晶體L，
散射電子在碰到其鄰近的顆粒L時．也會從那里放射出X射線。如果
不常常想到這一點(diǎn)。也會產(chǎn)生意想不到的誤差。

這就是X射線微區(qū)分析定量法的基本原理。對測定值再進(jìn)行吸收修
正，熒光激發(fā)修正等計(jì)算，最后便可以決定其含量。在這種分析法
中，如果試樣的尺寸極小，可忽略一些修正項(xiàng)。
  純物質(zhì)的X射線強(qiáng)度與波長分散型檢測儀的分光晶體結(jié)構(gòu)有關(guān)
。因?yàn)闄z測的波長不同，檢測儀的幾何位置也不同，咽此強(qiáng)度與原
子序數(shù)并不具有特殊的關(guān)系。

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