微機(jī)電加工、測量系統(tǒng)特點(diǎn)-檢測顯微鏡

  微機(jī)電系統(tǒng)的特點(diǎn)
  多年來，人們一直致力于使產(chǎn)品變得更小巧、更靈活、更智能
，努力實現(xiàn)“機(jī)電一體化”。從系統(tǒng)組成來看，微機(jī)電系統(tǒng)與傳統(tǒng)
的機(jī)電系統(tǒng)一樣，都具有信息感知、信息處理和控制、執(zhí)行等幾大
組成部分。微機(jī)電系統(tǒng)也像普通的機(jī)電系統(tǒng)一樣，可以感受運(yùn)動、
力、光、聲、熱、磁等自然界信號，并將這些信號轉(zhuǎn)換成電子系統(tǒng)
可以識別的電信號，經(jīng)過信號處理后(包括模擬／數(shù)字信號間的變
換)再通過執(zhí)行器對外部世界發(fā)生作用。但是，微機(jī)電系統(tǒng)不是傳
統(tǒng)機(jī)電系統(tǒng)在尺寸上的簡單縮小，它在設(shè)計思想、力學(xué)環(huán)境、運(yùn)動
原理、材料特性、加工、測量和控制等各方面都有了很大甚至是質(zhì)
的變化。

  我們平常使用的機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)品，一般需要人直接參與操作，而
微機(jī)電系統(tǒng)能在人或人手指達(dá)不到的地方工作，人往往不能直接操
縱它，只能依靠微機(jī)電系統(tǒng)的智能化工作。因此，微機(jī)電系統(tǒng)與傳
統(tǒng)機(jī)電系統(tǒng)的控制方法和工作方式是完全不同的。傳統(tǒng)機(jī)電系統(tǒng)對
外界環(huán)境的變化不敏感，而微機(jī)電系統(tǒng)就不同了，它對外界環(huán)境的
變化如溫度、濕度、灰塵等都十分敏感，一粒大小為10μm的灰塵
就可以使微齒輪卡死，這是在傳統(tǒng)機(jī)電系統(tǒng)中無法想象的。另外，
傳統(tǒng)機(jī)電系統(tǒng)直接與外部環(huán)境建立聯(lián)系，而微機(jī)電系統(tǒng)由于本身很
小，一般需要通過光、電、磁、聲等形式與外界進(jìn)行通信。因此，
微機(jī)電系統(tǒng)由于體積小、重量輕、功耗低、設(shè)計思想獨(dú)特、JJn-r_
方法特殊而具有不同于傳統(tǒng)機(jī)電系統(tǒng)的特殊性。

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