有機(jī)集成芯片微電路和微機(jī)械焊接工業(yè)顯微鏡

  發(fā)展微機(jī)電系統(tǒng)的途徑和技術(shù)條件的不同，才出現(xiàn)了上述不同
的定義形式。
  那么該如何定義MEMS呢?我們認(rèn)為定義MEMS應(yīng)從尺寸和功能兩
個(gè)方面出發(fā)，而不應(yīng)限定于任何制作工藝或材料，因?yàn)镸EMS的工藝
技術(shù)是不斷發(fā)展和完善的，制作MEMS的材料也是多樣的。
  因此我們認(rèn)為微機(jī)電系統(tǒng)的定義和內(nèi)涵是：采用微機(jī)械和微電
子加工方法，把微電路和微機(jī)械按功能要求有機(jī)集成在芯片上，關(guān)
鍵尺寸通常在亞微米至亞毫米范圍內(nèi)，集微機(jī)械、微執(zhí)行器以及信
號(hào)處理和控制、接口、通信和電源等于一體的可批量制作的自動(dòng)化
和智能化的微系統(tǒng)。它的基本特征是微型化、多樣性和特有的微電
子技術(shù)。
  隨著社會(huì)的進(jìn)步和人們需求的日益增長(zhǎng)，尤其是戰(zhàn)爭(zhēng)的需求，
許多方面都在期待著微機(jī)電系統(tǒng)的出現(xiàn)。迫使人們用新的觀點(diǎn)，綜
合應(yīng)用不同學(xué)科中的先進(jìn)技術(shù)，為需求目標(biāo)服務(wù)。
  微機(jī)電系統(tǒng)由于尺度小、集成度高、功能靈活而強(qiáng)大，使人類
的操作、加工能力延伸到微米級(jí)空間，也使其成為21世紀(jì)最富于挑
戰(zhàn)性的科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域之一。這種技術(shù)跨越將深刻影響國(guó)防科學(xué)技術(shù)
和國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，它將使未來戰(zhàn)爭(zhēng)改變面貌。同時(shí)作為新興的高
技術(shù)產(chǎn)業(yè)，微機(jī)電系統(tǒng)已經(jīng)成為各國(guó)政府競(jìng)相爭(zhēng)奪的技術(shù)制高點(diǎn)。

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