KRI 離子源 EH 1020 F 產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
?EH 1020 F 使用更大功率之陽極電源控制器，可提供更高的離子束電流，以增加更大的使用范圍。相較其它同型離子源，增加20%的離子束電流，及40%的陰極電壓。
?模組化的設(shè)計(jì)，隨插即用。容易維護(hù)，體積縮小30%。
?低溫制程。
?更寬的離子束使用范圍，適用于大型鍍膜機(jī)。
?整合型的電源控制器。
KRI 離子源 EH 1020F 耐久磁性離子源 (燈絲型)的特點(diǎn)
?無柵極設(shè)計(jì), 針對低能量制程
?單一燈絲, 針對離子化和中和性設(shè)計(jì)
?陽極模組化設(shè)計(jì)
?不銹鋼, 相對陽極
?不銹鋼與石墨材質(zhì)氣體反射器
?MFC氣體質(zhì)流量控制器
?直徑英制一吋bolt-type feedthroughs兩組1. 3-conductor electrical feedthrough
?18吋長 in-vacuum electrical cable 2. 1/4 吋 OD gas tubing feedthrough
?18吋長 in-vacuum flex gas line
?EH 1000F 電源供應(yīng)器/控制器與讀取裝置
?Front panel 監(jiān)控系統(tǒng)
?Soft-start 陰極
?900 Watt, 燈絲電源與發(fā)射控制器
?陽極8A, 300V , 可調(diào)整范圍 50-300V
?限定電流式電路保護(hù)裝置
?離子束自動中和裝置
?規(guī)格: 200/240V, 20A, 單向, 50/60Hz
?20尺長, 外部電源供應(yīng)器連接線
?備用燈絲(10支)
?離子源安裝托架
[選購]
?陽極式水冷組

?KRI 離子源 EH1020 F 離子能量分布

 

KRI 霍爾離子源 eH 1000 技術(shù)參數(shù):