KRI 離子源(KRI Ion Source ) eH 2000 系列:
KRI 離子源 eH 2000 是一款更強(qiáng)大的版本,帶有水冷方式,他具備 eH 1000 所有的性能,而且可以產(chǎn)生更高的離子束功率,適合更高的工藝等級和更大的系統(tǒng)。水冷方式有助于降低襯底溫度,可適用于塑膠襯底。
KRI 霍爾離子源 eH 2000 技術(shù)參數(shù):
電話:+86-21-5046-3511
郵箱:ec@hakuto-vacuum.cn
地址:上海市浦東新區(qū)
新金橋路1888號36號樓7樓702室
201206
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