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EZ4,EZ6,SC100-SE-高精密勻膠機(jī)|旋涂?jī)x|甩膠機(jī)_勻膠機(jī)旋涂?jī)x-安賽斯(中國(guó))有限公司

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-09-02  來(lái)源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):744
核心提示:更新時(shí)間:2019-05-16 19:19:35193 聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是91化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝! 產(chǎn)品介紹:名 稱:高精密勻膠機(jī)|旋涂?jī)x|甩膠機(jī)型 號(hào):EZ4,EZ6,SC100-SE,SC200-SE等原產(chǎn)地:中國(guó)應(yīng) 用:在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。 【詳細(xì)說(shuō)明】 關(guān)于報(bào)價(jià):網(wǎng)站報(bào)價(jià)僅供參考,不同型號(hào)和配置,報(bào)價(jià)不同,詳細(xì)報(bào)價(jià)請(qǐng)咨詢安賽斯(Analysis)工作人員。關(guān) 鍵

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是91化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


產(chǎn)品介紹:
名 稱:高精密勻膠機(jī)|旋涂?jī)x|甩膠機(jī)
型 號(hào):EZ4,EZ6,SC100-SE,SC200-SE等
原產(chǎn)地:中國(guó)
應(yīng) 用:在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。 【詳細(xì)說(shuō)明】

關(guān)于報(bào)價(jià):網(wǎng)站報(bào)價(jià)僅供參考,不同型號(hào)和配置,報(bào)價(jià)不同,詳細(xì)報(bào)價(jià)請(qǐng)咨詢安賽斯(Analysis)工作人員。

關(guān) 鍵 詞:勻膠機(jī),旋涂?jī)x,甩膠機(jī),烤膠機(jī),熱板

關(guān)于型號(hào):勻膠機(jī)根據(jù)功能和配置不同,分為EZ4,EZ6,SC100-SE,SC100-PE,SC200-SE,SC200-PE,IC5000等型號(hào),各型號(hào)具體性能參數(shù),請(qǐng)向安賽斯(Analysis)工作人員索取。

  烤膠機(jī)根據(jù)控溫方式和溫度范圍不同,分為HP10,HP100-HT,HP100-HT-CTM,HP6,HP100-SE,HP100-PE等型號(hào)。各型號(hào)具體性能參數(shù),請(qǐng)向安賽斯(Analysis)工作人員索取。

 

名  稱:高精密勻膠機(jī)|旋涂?jī)x|甩膠機(jī)

EZ4小巧型勻膠機(jī)

產(chǎn)品概述:

EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制,文本顯示器人機(jī)界面。
EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽(yáng)極氧化鋁面板外殼,PP材料內(nèi)腔,經(jīng)久耐用。

性能參數(shù):

l  支持wafer尺寸:碎片(小于1cm)至100mm(4"圓晶)

l  速度可調(diào)范圍:100-10000rpm

l  加速度可調(diào)范圍:100-10000rpm/s

l  轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm

l  轉(zhuǎn)速精度:< 5rpm

l  可編程5組5步程序

l  寬電壓輸入:AC100-230V


產(chǎn)品特點(diǎn):

l  100W 直流無(wú)刷電機(jī),單片機(jī)控制

l  高清晰文本顯示器

l  可單步和多步勻膠操作

l  PP耐腐蝕內(nèi)腔,可更換

l  鋁合金陽(yáng)極氧化外殼,美觀大方

l  耐溶劑PC透明蓋

l  多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)

l  HDPE真空吸盤

產(chǎn)品外型尺寸:
  250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)

 

EZ6靈巧型勻膠機(jī)

產(chǎn)品概述:

EasyCoater 6勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制,5寸全彩觸屏人機(jī)界面操作,簡(jiǎn)單易用。EZ6勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
EZ6勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用,程控操作,且能夠升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過(guò)渡艙內(nèi)進(jìn)出,具有優(yōu)異的性價(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì),進(jìn)行嵌入式安裝,與手套箱進(jìn)行配合。

性能參數(shù):

l  支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圓晶)

l  速度可調(diào)范圍:100-12000rpm

l  加速度可調(diào)范圍:100-30000rpm/s

l  轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm

l  轉(zhuǎn)速精度:< 5rpm

l  可編程10組10步程序

l  寬電壓輸入:AC100-230V

產(chǎn)品特點(diǎn):

l  100W 直流無(wú)刷電機(jī),PLC 控制

l  5 全彩觸摸屏

l  系統(tǒng)中英文可選

l  帶一只自動(dòng)點(diǎn)膠端口,可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能

l  HDPE 內(nèi)腔,SUS 外殼,耐溶劑PC 透明蓋

l  真空互鎖及蓋子開(kāi)關(guān)互鎖安全功能

產(chǎn)品外型尺寸:

358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

 

EZ8智能型勻膠機(jī)

產(chǎn)品概述:

  EZ8勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至8寸圓形尺寸底物,使用工業(yè)級(jí)馬達(dá)和高級(jí)PLC控制,7寸全彩觸屏人機(jī)界面操作,全耐腐蝕性設(shè)計(jì)。

EZ8設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用、程控操作、高性能、高精度和寬應(yīng)用,是一款外觀和性能均突出的智能化勻膠機(jī)。

性能參數(shù):

l  速度可調(diào)范圍:100-12000RPM,轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM

l  加速度可調(diào)范圍:100-30000RPM/S

l  單步旋涂及多步旋涂可選,可編程100組100步程序

l  250W直流無(wú)刷電機(jī),高級(jí)PLC控制,圖形化操作界面

l  HDPE內(nèi)腔,PP外殼,耐溶劑復(fù)合型蓋,帶透明蓋觀察窗

l  帶四只自動(dòng)點(diǎn)膠端口,可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠裝置

l  真空傳感器和蓋子開(kāi)關(guān)傳感器互鎖,確保操作安全

l  帶排廢收集口,直接收集到可更換的PP廢膠收集瓶

l  底部抽風(fēng)設(shè)計(jì),可接抽風(fēng)裝置,保證廢氣排逸

產(chǎn)品特點(diǎn):

l  側(cè)面可更換接膠瓶設(shè)計(jì),方便廢液回收

l  電動(dòng)可升縮觸摸屏設(shè)計(jì),人性化斜面操作

l  不堵膠、不進(jìn)膠、易清理的耐用性設(shè)計(jì)

l  簡(jiǎn)單可靠的載物盤更換設(shè)計(jì)

l  完美的不濺膠和氣流系統(tǒng)設(shè)計(jì)

l  易清潔、耐腐蝕超高分子材料內(nèi)腔

l  耐腐蝕PP聚丙烯外殼,抗污易清潔

l  新穎的圖形化操作界面,可視化窗口

產(chǎn)品附件選擇:

l  標(biāo)配一只真空載物盤(直徑55mm) 和兩只配合轉(zhuǎn)頭(10mmm,25mm),適合小至1cm碎片到8寸圓形底物勻膠作業(yè)。

l  根據(jù)基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式定制載物盤轉(zhuǎn)頭設(shè)計(jì)加工

l  用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附載物盤轉(zhuǎn)頭

l  無(wú)油真空泵(抽氣量15L/min以上)或真空發(fā)生器可選

l  蓋子上點(diǎn)膠針筒支架手動(dòng)點(diǎn)膠可選

l  瓶口分液器手動(dòng)定量點(diǎn)膠可選

l  蠕動(dòng)泵/點(diǎn)膠機(jī)等自動(dòng)點(diǎn)膠裝置可選配

 

EZH-S可控溫型勻膠機(jī)

產(chǎn)品概述:

  EZH-S是首款采用轉(zhuǎn)盤本體加熱的控溫型勻膠機(jī),可以進(jìn)行邊加熱邊旋轉(zhuǎn)的控溫勻膠操作,對(duì)提高膠體流動(dòng)性,加速溶劑揮發(fā),勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。
  EZH-S能夠?qū)D(zhuǎn)盤進(jìn)行精確控溫,基片吸附接觸式加熱,以實(shí)現(xiàn)在不同溫度下的控溫勻膠處理。采用獨(dú)特的發(fā)明旋轉(zhuǎn)熱盤控溫結(jié)構(gòu)系統(tǒng),控溫精度高、重復(fù)性好,技術(shù)先進(jìn),性能優(yōu)良。
  EZH-S標(biāo)配2英寸(直徑50mm)鋁合金真空吸附轉(zhuǎn)盤,加熱速度快,控溫精度高。不同尺寸基片為保證緊密接觸加熱轉(zhuǎn)盤,可定制設(shè)計(jì)更換。

性能參數(shù)

l  加熱轉(zhuǎn)盤     50mm(其它尺寸按要求定制)

l  控溫范圍   室溫~200℃

l  溫度分辨率   0.1℃

l  控溫精度   2℃(旋轉(zhuǎn)前后溫升)
  0.5℃(穩(wěn)定后控溫)

l  轉(zhuǎn)速分辨率  1RPM 

l  轉(zhuǎn)速范圍     100-5000RPM

l  加速度范圍   100-5000RPM/S

l  單步設(shè)置時(shí)長(zhǎng)     0.1-3000S

l  可編程   100組100步

l  自動(dòng)點(diǎn)膠口 一路

l  設(shè)備重量   15kg

l  電源輸入   AC220V,5A

l  加熱功率   200W

l  電機(jī)功率  200W

 

SC100-SE高精密勻膠機(jī)

性能參數(shù):

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)

l  旋涂程序:最多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可精確到0.1秒

l  轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-10,000rpm(更高速可選)

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 1rpm

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度 1rpm

l  重復(fù)性 1rpm

l  工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step

l  時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm(8 圓晶)

l  旋涂作業(yè)均勻性: 3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量)

產(chǎn)品特點(diǎn):

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

l  Telon /polyethylene 密閉碗 設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

l  標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

l  采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,永不生銹,便于清洗。

l  排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。

l  透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸:
  433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) 可選分體結(jié)構(gòu)

 

SC100-PE高端型勻膠機(jī)

性能參數(shù):

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)

l  旋涂程序:可擴(kuò)展編輯和存貯到無(wú)限程序步驟

l  轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-15,000rpm

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)

l  轉(zhuǎn)速精度達(dá)到 0.1rpm,超高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性;

l  工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step

l  時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm(8 圓晶)

l  旋涂作業(yè)均勻性: 3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量)

產(chǎn)品特點(diǎn):

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

l  Telon /polyethylene 密閉碗 設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

l  采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,永不生銹,便于清洗。

l  透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

l  數(shù)顯真空壓力傳感器,真空值數(shù)字顯示,壓力開(kāi)關(guān)值可設(shè)置;

l  數(shù)顯水平度傳感器,實(shí)時(shí)顯示載物盤面的水平度,可通過(guò)底腳進(jìn)行調(diào)節(jié);

l  自帶四個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠端口,更多端口控制可升級(jí)。

產(chǎn)品外型尺寸:
  433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)
 

 

SC200-SE高精密勻膠機(jī)

性能參數(shù):

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)

l  旋涂程序:最多存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可精確到0.1秒

l  轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm

l  旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 1rpm

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度 1rpm,重復(fù)性 1rpm

l  工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-300mm(12 圓晶)

l  旋涂作業(yè)均勻性: 3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量)

產(chǎn)品特點(diǎn):

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

l  Telon /polyethylene 密閉碗 設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

l  標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

l  采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,永不生銹,便于清洗。

l  透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

 

產(chǎn)品外型尺寸:613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)

名  稱:高精密勻膠機(jī)|旋涂?jī)x|甩膠機(jī)

關(guān)于勻膠機(jī)的詳細(xì)資料,請(qǐng)聯(lián)系安賽斯(Analysis)工作人員索取。

 


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