Parylene涂層優(yōu)勢(shì)
可抵抗化學(xué)和環(huán)境侵蝕,對(duì)產(chǎn)品無(wú)副作用所形成的涂層具有完美的均勻性、縫隙滲透性室溫下既可以進(jìn)行涂層,防止高溫?fù)p壞基材潤(rùn)滑性能好光透過(guò)性能好主要技術(shù)參數(shù):
全自動(dòng)控制
涂層材料:聚對(duì)二甲苯,聚一氯對(duì)二甲苯和聚二氯對(duì)二甲苯
涂層厚度:0.05~50 m
熱解:5KW , 最高溫度 700℃
進(jìn)氣含均勻分散系統(tǒng)
冷卻:液氮最低可達(dá)﹣100℃
極限壓力:1 10-3mbar ,配有兩個(gè)皮拉尼傳感器
涂層腔體尺寸, 200 mm*L200mm,容積約6.28L
旋轉(zhuǎn)架尺寸: 170mm*L170mm
真空泵系統(tǒng):雙級(jí)螺旋泵 16 m3/h, 萊寶 D16B
連接件:25mm真空管,泵與主機(jī)連接件,6 bars 干燥無(wú)油的空氣
外尺寸:W700*D500*H700mm
電源電壓:400V/16A/50-60Hz