壓電式壓力傳感器利用的是壓電材料的壓電效應(yīng),就是壓電材料收到壓力時會產(chǎn)生電位差,通過電位差來測量壓力。目前,用于測量壓電式壓力傳感器的性能的設(shè)備一般是瞬變壓力信號發(fā)生器和正弦信號發(fā)生器。瞬變壓力信號發(fā)生器產(chǎn)生的是非周期性的壓力信號,非常適合用來測量高頻響應(yīng)的壓力傳感器。
正弦壓力信號發(fā)生器產(chǎn)生的是正弦壓力信號,測量方法有以下幾種:1.諧振空腔測量:采用活塞或汽笛等激發(fā)密閉空腔的空氣振動,產(chǎn)生周期性的壓力變化;2.非諧振空腔測量法:調(diào)制通過容器內(nèi)的氣流而產(chǎn)生周期變化的壓力;3.喇叭式壓力發(fā)生器:動圈式喇叭通電后產(chǎn)生振動,使空氣耦合腔內(nèi)的氣壓做正弦變化。
在上面提到的這些方法中,用的比較廣發(fā)的是順便壓力信號發(fā)生器,主要用于高頻、大量程的壓力傳感器的測定。諧振和非諧振式的有一個共同的缺點:在高頻高壓下,波形會嚴(yán)重畸變,所以一般只用于小壓力或低頻范圍的測量。而喇叭式壓力發(fā)生器雖然可以產(chǎn)生波形良好的高頻壓力,但由于空氣中的聲壓較小,測量的誤差比較大。
因此,在進行壓電式壓力傳感器的靈敏度或其他性能檢測時,要根據(jù)實際的情況,選擇合適的檢測方法。
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