亚洲欧美日本韩国_久久久久亚洲AV片无码V_亚洲AV片不卡无码一_H漫全彩纯肉无码网站

 
 
當前位置: 首頁 » 新聞資訊 » 廠商 » 正文

光刻工藝技術基礎-涂膠_91化工儀器網(wǎng)

分享到:
放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-09-02  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):909
核心提示:光刻工藝技術基礎-涂膠涂膠1.靜態(tài)滴膠2.旋轉(zhuǎn)鋪開3.甩掉多余的膠4.溶劑揮發(fā)涂膠過程勻膠后在襯底邊緣處會形成較厚的邊(邊珠效 應,這會影響到光刻的圖形精度)。可在涂膠 過程中加入去邊及背噴工藝( PGMEA、 EGMEA 為常用去邊液)。去邊過程涂膠成膜過程中各種案例分析1.表面出現(xiàn)氣泡滴膠時,膠液中混有氣泡噴嘴有問題或者噴嘴不規(guī)整2.放射狀條紋膠液噴射速度過高,設備排氣速度過高滴膠過后靜止時間過長勻膠轉(zhuǎn)速或者加速度設置過高基片前處理不到位有顆粒殘留或者膠液中有顆粒3.中心漩渦圖案設備排氣速度過高滴膠時
光刻工藝技術基礎-涂膠涂膠

1.靜態(tài)滴膠2.旋轉(zhuǎn)鋪開3.甩掉多余的膠4.溶劑揮發(fā)

涂膠過程勻膠后在襯底邊緣處會形成較厚的邊(邊珠效 應,這會影響到光刻的圖形精度)??稍谕磕z 過程中加入去邊及背噴工藝( PGMEA、 EGMEA 為常用去邊液)。

去邊過程涂膠成膜過程中各種案例分析 

1.表面出現(xiàn)氣泡

滴膠時,膠液中混有氣泡

噴嘴有問題或者噴嘴不規(guī)整

 

 

2.放射狀條紋

膠液噴射速度過高,設備排氣速度過高

滴膠過后靜止時間過長

勻膠轉(zhuǎn)速或者加速度設置過高

基片前處理不到位有顆粒殘留或者膠液中有顆粒

3.中心漩渦圖案

設備排氣速度過高

滴膠時偏離襯底中心

勻膠旋涂時間過長

 

4.中心元暈

不適合的托盤

滴膠噴嘴偏離基片中心

 

 

5.膠液未涂滿襯底

膠液量不足

勻膠旋涂速度過低或過高

 

 

6.針孔

膠液中存在顆?;蛘邭馀?/p>

基片襯底前處理不徹底表面存在顆粒

 

 

 

 


關注本網(wǎng)官方微信 隨時閱讀專業(yè)資訊

 
 
打賞
[ 新聞資訊搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告訴好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 違規(guī)舉報 ]  [ 關閉窗口 ]
免責聲明:
本網(wǎng)站部分內(nèi)容來源于合作媒體、企業(yè)機構、網(wǎng)友提供和互聯(lián)網(wǎng)的公開資料等,僅供參考。本網(wǎng)站對站內(nèi)所有資訊的內(nèi)容、觀點保持中立,不對內(nèi)容的準確性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保證。如果有侵權等問題,請及時聯(lián)系我們,我們將在收到通知后第一時間妥善處理該部分內(nèi)容。
 

光刻工藝技術基礎-涂膠_91化工儀器網(wǎng)二維碼

掃掃二維碼用手機關注本條新聞報道也可關注本站官方微信賬號:"xxxxx",每日獲得互聯(lián)網(wǎng)最前沿資訊,熱點產(chǎn)品深度分析!
 

 
0相關評論

 
无码乱人伦一区二区亚洲一| 国偷自产一区二区免费视频| 亚洲国产日韩a在线播放 | 精品综合久久久久久97超人| 草草浮力影院| 久久99国产精品久久| 中文字幕无码成人免费视频| 亚洲一区爱区精品无码| 99精品免费久久久久久久久日本| 国产日产精品一区二区三区四区的特点 | 久久成人麻豆午夜电影| 亚洲精华国产精华液的福利 | 成人午夜国产内射主播| 艳妇乳肉豪妇荡乳av无码福利| 日韩制服国产精品一区| 人妻夜夜爽天天爽| 国产午夜福利久久精品| 国产精品一区二区av麻豆| 亚洲av永久无码精品网站色欲| 欧美一区二区三区啪啪| 精品国产成人亚洲午夜福利| 欧美国产日本高清不卡| 日日碰狠狠躁久久躁| 久久精品免视看国产成人| 99久久免费国产精品| 内射欧美老妇wbb| 无码一区二区三区免费视频| 熟女无套高潮内谢吼叫免费| 国产免费又色又爽粗视频| 夜夜爽妓女8888视频免费观看 | 亚洲第一狼人天堂网亚洲av| 四虎永久在线精品免费一区二区| 中文字字幕在线中文无码| 制服 丝袜 人妻 专区一本| 免费看污又色又爽又黄又脏小说 | 亚洲av无码电影在线播放| 日本精品少妇一区二区三区| 麻豆亚洲av熟女国产一区二| 少妇久久久久久人妻无码| 无码专区亚洲综合另类| 亚洲欧洲国产成人综合在线|