微機電制程技術(shù)制造應(yīng)用-芯片制程檢測顯微鏡

運用微機電制程技術(shù)制造應(yīng)用于水下環(huán)境之水下聲響微感測器。
感測器主要結(jié)構(gòu)為配合微機電制程里的面型加工技術(shù)所制作出的感測薄膜，
并在薄膜的感測面鋪上適當?shù)膲鹤璨牧?。其運作原理為利用結(jié)構(gòu)本身具有自然振頻之特性，
在接受與結(jié)構(gòu)自然振頻接近的特定頻率聲波時，感測器輸出訊號會產(chǎn)生較高的訊雜比，
 借助此接收聲波所傳遞之訊號內(nèi)容。 在制程規(guī)劃上共有兩種制程，一種是以SOI芯片為基底的制程，一種則是以六吋單晶硅芯片為基底的制程
。其差別在于使薄膜懸浮的方式，SOI芯片制程是以浸泡氫氟酸蝕刻犧牲層使薄膜懸浮，
六吋單晶硅制程則是采用背后蝕刻使薄膜懸浮。SOI芯片制程由于浸泡氫氟酸時發(fā)生電化學(xué)反應(yīng)使壓阻遭受破壞，
而單晶硅芯片制程則透過背后蝕刻深度精準的控制，蝕刻出適當厚度之感測薄膜，
成功完成感測器的制程。完成后進行感測器封裝，制作出適合水下環(huán)境使用之感測器，
最后并經(jīng)由各式聲學(xué)實驗設(shè)備探討聲響感測器之特性以作為感測器應(yīng)用之參考。
在空氣與水中的測試，感測器成功量測聲波訊號，其訊號與越接近感測器共振頻率頻響反應(yīng)越佳之趨勢相符，
并量測出感測器薄膜之自然振頻。