更新時(shí)間:2018-12-13 09:06:311382
聯(lián)系我們時(shí)請說明是91化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
潔凈室性能測試及認(rèn)證
廣思科技(上海)公司是提供獨(dú)立的第三方測試和認(rèn)證的公司,服務(wù)對(duì)象涵蓋各種類型的潔凈區(qū)域和設(shè)施。測試步驟嚴(yán)格遵循ISO-14644-1,2 , FS-209E, IES相關(guān)條款, NEBB,及由客戶指定的其它工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
在測試完成后,我們將提供一份詳盡的測試報(bào)告。所頒的證書完全符合FS-209E及ISO的各項(xiàng)要求。
服務(wù)對(duì)象
我們服務(wù)是對(duì)有潔凈室或潔凈空間及所有有潔凈要求的區(qū)域進(jìn)行檢測。
我們服務(wù)的行業(yè)是有ISO要求,F(xiàn)S-209E要求或GMP要求的半導(dǎo)體,電子業(yè),制藥生物業(yè),醫(yī)療保健,硬盤業(yè),科研機(jī)構(gòu)等。
我們服務(wù)的內(nèi)容包括:
潔凈室剛建成時(shí),對(duì)潔凈室性能進(jìn)行第三方獨(dú)立的測試及認(rèn)證,如過濾器檢漏測試,如及時(shí)發(fā)現(xiàn)因安裝等失誤造成的過濾器漏洞,可避免以后返修的重大損失。
潔凈室的維護(hù)及微污染控制追蹤,遵ISO的原則,對(duì)潔凈室進(jìn)行常效的管理和維護(hù)。
參考標(biāo)準(zhǔn)
ISO / TC 209 14644 1 (懸浮顆粒潔凈等級(jí))
ISO Class
0.1 m(m3)
0.2 m(m3)
0.3 m(m3)
0.5 m(m3)
1 m(m3)
5 m(m3)
1
10
2
-
-
-
-
2
100
24
10
4
-
-
3
1,000
237
102
35
8
-
4
10,000
2,370
1,020
352
83
-
5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
7
-
-
-
352,000
83,200
2,930
8
-
-
-
3,520,000
832,000
29,300
9
-
-
-
35,200,000
8,320,000
293,000
Federal Standard 209E (懸浮顆粒潔凈等級(jí))
Class
0.1 m(ft3)
0.2 m(ft3)
0.3 m(ft3)
0.5 m(ft3)
5 m(ft3)
1
35
7. 5
3
1
-
10
350
75
30
10
-
100
-
750
300
100
-
1,000
-
-
-
1,000
7
10,000
-
-
-
10,000
70
100,000
-
-
-
100,000
700
測試類型
共有13項(xiàng)測試,如IES-RP-CC006.2 [4]所列,分三大類:
基本項(xiàng)目
風(fēng)量,風(fēng)速及均衡性:-
此項(xiàng)測試是用于檢測潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)氣流的平均流速或一致性,同樣可得出供氣量及流速或一致性。
過濾器安裝檢漏:-
此項(xiàng)測試是用于確認(rèn)過濾器是否正確安裝,過濾器的邊緣以及中間隔離層是否有破裂及小漏洞。
粒子數(shù)量測試:-
此項(xiàng)測試是用于決定潔凈室空態(tài)、靜態(tài)或動(dòng)態(tài)下是否能符合FS-209E的相關(guān)規(guī)定的等級(jí)。
潔凈室壓力測試:-
此項(xiàng)測試是研究潔凈室系統(tǒng)是否有能力維持潔凈室與周邊空間保持特定的壓力。
選擇項(xiàng)目 1
氣流平衡性測試:-
此項(xiàng)測試用于發(fā)現(xiàn)整個(gè)工作區(qū)氣流的平衡性是否潔凈室有能力限制內(nèi)部污染的分散。
潔凈室完整性測試:-
此項(xiàng)測試用于查看于潔凈室的連接處,密封處及過道是否有未過濾的空氣滲入。
潔凈室還原性測試:-
此項(xiàng)測試用于考察潔凈室在暴露于懸浮顆粒下是否有能力恢復(fù)原來的潔凈等級(jí)。
顆粒塵降測試:-
此項(xiàng)測試用于計(jì)算大顆粒的懸浮粒子(那些無法由粒子計(jì)數(shù)器有效測量到的)。
選擇項(xiàng)目 2
光照度測試:-
此項(xiàng)測試用于考察室內(nèi)的光照強(qiáng)度或均衡性。
噪聲測試:-
此項(xiàng)測試用于測算潔凈室機(jī)械電子系統(tǒng)產(chǎn)生的噪音。
溫濕度測試:-
此項(xiàng)測試用于考察潔凈室控制系統(tǒng)是否能維持空氣的溫度和濕度。
震動(dòng)測試:-
此項(xiàng)測試用于測試潔凈室內(nèi)的震動(dòng)水平。
地板和墻板的靜電傳導(dǎo)性測試:-
此項(xiàng)測試是研究潔凈室內(nèi)地板及墻板的靜電傳導(dǎo)性能。
潔凈室的再認(rèn)證和監(jiān)控
我們對(duì)投入生產(chǎn)運(yùn)作的潔凈室設(shè)施進(jìn)行階段性的再認(rèn)證和檢測,確保他們符合各項(xiàng)性能指標(biāo)。我們齊全的檢驗(yàn)設(shè)備和儀器能大大縮短測試過程和把對(duì)生產(chǎn)過程的影響降到zui低。
測試業(yè)績
No.
業(yè)主
工程名稱
測試項(xiàng)目
1
中芯國際上海FAB9
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差,地板墻板電阻,自凈測試
2
中芯國際成都 FAB11
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差,地板墻板電阻,自凈測試
3
中芯國際北京FAB4
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差,地板墻板電阻,自凈測試
4
中芯國際武漢 FAB12
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差,地板墻板電阻,自凈測試
5
英飛凌科技(蘇州)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度,噪音,壓差,地板電阻,氣流流形,自凈測試
6
凸版光掩模 (上海)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差,地板電阻,氣流流行,自凈測試
7
先進(jìn)半導(dǎo)體制造(上海)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差,地板電阻
8
中微半導(dǎo)體(上海)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差
9
安靠封裝測試(上海)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差,地板電阻,自凈測試
10
敦南科技(無錫)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差
11
三星半導(dǎo)體(蘇州)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
潔凈度,風(fēng)速及風(fēng)量,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差
10
希捷國際科技(無錫)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差,地板電阻,氣流平行度
11
微密科技(無錫)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差
12
西安中衛(wèi)電子科技有限公司
潔凈室測試與管道測試
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差,管道潔凈度,氦檢漏,保壓測試
13
羅氏制藥(上海)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)量,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差,氣流流行
14
日本電產(chǎn)(浙江)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,壓差
15
福群電子(無錫)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差
16
通用電氣藥業(yè) (上海)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)量,光照度,噪音,壓差,地板電阻
17
美德福(無錫)精密機(jī)械有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度,噪音,壓差
18
超科林半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司
潔凈室測試與NEBB認(rèn)證
過濾器檢漏,潔凈度,風(fēng)速,溫濕度 ,光照度, 噪音,壓差
*以上測試案例為上海分公司zui近期部分測試案例。