納米微米壓痕劃痕測試儀；近場掃描光學顯微鏡；接觸角測量儀；表面張力儀；LB膜分析儀；開爾文探針系統(tǒng)(功函數測量)；表面等離子共振譜儀(SPR)；輪廓儀；摩擦計；(顯微)硬度計；磁控濺射儀；熱蒸發(fā)電子束蒸發(fā)沉積；等離子增強氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)；原子層沉積系統(tǒng)(ALD)；快速退火爐；霍爾效應儀；探針臺；光致發(fā)光掃描儀(PL)；橢偏儀；膜厚儀；氣溶膠發(fā)生器，粒徑譜儀，稀釋器；濾料測試系統(tǒng)；煙霧發(fā)生器；空氣示蹤器；zeta電位分析儀；內表面粗糙度測量儀；(氙燈)光反應器；太陽模擬器；高壓反應釜；

 科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理?？祁９疽回灡小赫\信』、『品質』、『服務』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化，為廣大中國用戶提供儀器、設備，最周到的技術、服務和完美的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國，納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機高分子合成等等領域，都需要與歐美發(fā)達國家完全接軌的儀器設備平臺來實現。科睿設備有限公司有幸成長在這個火熱的年代，我們愿意化為一座橋梁，見證中國科技水平的提升，與中國科技共同飛速成長。
      科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設在中國香港，在中國上海設立了分公司，在國內多個城市設立了辦事處或維修站，旨在為客戶提供全方位的產品和服務。2010年，科睿設備有限公司在上海設立備品倉庫及維修中心，同時提供在大陸的各項技術服務和后期的維修保障服務，我們擁有專業(yè)的應用維修人員，并且都曾到國外廠家進行了專門的培訓。上海配備了多種維修部件，能使我們的服務更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應，72小時內趕到現場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務！ 
      因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經為國內眾多科研院所和大學根據用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng)，主要用戶包括：中科院物理所，中科院半導體所，中科院大連化學物理研究所，國家納米中心，上海納米中心，北京大學，清華大學，中國科技大學，南京大學，復旦大學，上海交通大學，華東理工大學，浙江大學，中山大學，西安交通大學，四川大學，中國工程物理研究院，香港大學，香港城市大學，香港中文大學，香港科技大學等。

深能級瞬態(tài)譜儀1

深能級瞬態(tài)譜儀1（DLTS）
  深能級瞬態(tài)譜（Deep Level Transient Spectroscopy）是半導體領域研究和檢測半導體雜質、缺陷深能級、界面態(tài)等的重要技術手段。根據半導體P-N 結、金－半接觸結構肖特基結的瞬態(tài)電容（△C～t）技術和深能級瞬態(tài)譜（DLTS）的發(fā)射率窗技術測量出的深能級瞬態(tài)譜，是一種具有極高檢測靈敏度(檢測靈敏度通常為半導體材料中摻雜濟濃度的萬分之一)的實驗方法，能檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態(tài)。通過對樣品的溫度掃描，可以給出表征半導體禁帶范圍內的雜質、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度（即能量）分布的DLTS 譜。集成多種全自動的測量模式及全面的數據分析，可以確定雜質的類型、含量以及隨深度的分布。
  Semetrol DLTS集成多種自動的測量模式及全面的數據分析，可以確定雜質的類型、含量以及隨深度的分布，也可用于光伏太陽能電池領域中，分析少子壽命和轉化效率衰減的關鍵性雜質元素和雜質元素的晶格占位，確定是何種摻雜元素和何種元素占位影響少子壽命。該儀器測量界面態(tài)速度快，精度高，是生產和科研中可廣為應用的測試技術．
 
主要特點 :
 自動連線檢測；
 自動電容補償功能；
 探測靈敏度高
 瞬態(tài)電流測量；
 傅里葉轉化功能；
 深能級瞬態(tài)譜分析；
 
應用領域 :
檢測Si、ZnO、GaN等半導體材料中微量雜質、缺陷的深能級及界面態(tài)。
 
 
 
Semetrol DLTS系統(tǒng)配置:
- 脈沖發(fā)生器
電壓范圍： 20.4 V ( 102 V opt.)
脈沖寬度：1 s - 1000 s
- 電容測量
高頻信號100 mV @ 1 MHz (20 mV 可選)
電容范圍 [pF] 3, 30, 3000 3000 (自動或手動)
靈敏度 0.01 fF
- 電壓測量：
范圍 10 V
靈敏度 1 V
 
溫度范圍：30K~450K
電阻范圍：0.1 mOhm - 10 GOhm
 
 
 
多種測量模式：
  C-DLTS（電容模式）
  CC-DLTS （定電容模式）
  I-DLTS （電流模式）
  DD-DLTS （雙關聯模式）
  Zerbst-DLTS （Zerbst模式）
  O-DLTS （光激發(fā)模式）
  FET-Analysis （FET分析）
  MOS-Analysis （MOS分析）
  ITS (等溫瞬態(tài)譜)
  Trap profiling
  CCSM（俘獲截面測量）
  I/V,I/V(T) （查理森Plot分析）
  C/V, C/V(T)
  TSC/TSCAP
  PITS (光子誘導瞬態(tài)譜)
  DLOS (特殊系統(tǒng)）