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復(fù)合真空計(jì)的原理和使用方法_91化工儀器網(wǎng)

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-09-02  來(lái)源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):1108
核心提示:真空計(jì)是測(cè)量真空系統(tǒng)中氣體壓強(qiáng)的儀器,種類(lèi)很多,這里介紹的復(fù)合真空計(jì)是常見(jiàn)的一種,復(fù)合真空計(jì)是由溫差電偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組合而成。 溫差電偶真空計(jì)的原理 溫差電偶真空規(guī)管由玻璃制成,通過(guò)小管8和真空系統(tǒng)相接,在規(guī)管內(nèi)的兩根引線上裝有熱絲3,另外兩根引線上焊著一對(duì)溫差電偶4,溫差電偶的另一端與熱絲在A點(diǎn)焊接。 由于在低壓下,氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比,所以在通過(guò)熱絲的電流( 90~150 mA)一定的條件下,熱絲的溫度隨著規(guī)管內(nèi)真空度的提高而升高,溫差電偶電動(dòng)勢(shì)也隨之而增大。因此,通過(guò)測(cè)量溫差電偶

真空計(jì)是測(cè)量真空系統(tǒng)中氣體壓強(qiáng)的儀器,種類(lèi)很多,這里介紹的復(fù)合真空計(jì)是常見(jiàn)的一種,復(fù)合真空計(jì)是由溫差電偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組合而成。
 

溫差電偶真空計(jì)的原理
 

溫差電偶真空規(guī)管由玻璃制成,通過(guò)小管8和真空系統(tǒng)相接,在規(guī)管內(nèi)的兩根引線上裝有熱絲3,另外兩根引線上焊著一對(duì)溫差電偶4,溫差電偶的另一端與熱絲在A點(diǎn)焊接。
 

由于在低壓下,氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比,所以在通過(guò)熱絲的電流( 90~150 mA)一定的條件下,熱絲的溫度隨著規(guī)管內(nèi)真空度的提高而升高,溫差電偶電動(dòng)勢(shì)也隨之而增大。因此,通過(guò)測(cè)量溫差電偶電動(dòng)勢(shì),可以確定出被測(cè)系統(tǒng)的真空度,溫差電偶真空計(jì)則是根據(jù)這個(gè)原理制成的。溫差電偶真空計(jì)的電離真空計(jì)的測(cè)量范圍1~5 10-2 Pa。
 

熱陰極電離真空計(jì)的原理
 

電離真空規(guī)管是一只三極管,通過(guò)B管與真空系統(tǒng)相接,使用時(shí),在燈絲電路中通以電流5mA,燈絲受熱后便發(fā)射電子,由于柵極為正電壓,使電子加速,中途與氣體分子相碰,氣體的密度越大,碰撞機(jī)會(huì)越大,產(chǎn)生的正離子也越多。另外,由于板極電壓為負(fù),便吸引正離子在板極電路中形成板極電流Ip,氣體分子密度越大( 即壓強(qiáng)越大),板極電流也越大,反之越小。


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