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結(jié)構(gòu)上真空計(jì)都有哪些應(yīng)用領(lǐng)域?

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2021-05-10  來(lái)源:儀器網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):49
核心提示:隔膜真空計(jì)是一種高精度真空測(cè)量?jī)x器,專為惡劣的制造環(huán)境而設(shè)計(jì)。經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的溫控,耐腐蝕,超純陶瓷傳感器可在多年內(nèi)提供的跨度穩(wěn)定性,并具有蕞先進(jìn)的零穩(wěn)定性。附帶獨(dú)特傳感器屏蔽,可保護(hù)儀表免受不良過(guò)程副產(chǎn)品的影響。先進(jìn)的電子元件為所有應(yīng)用和可選的
隔膜真空計(jì)是一種高精度真空測(cè)量?jī)x器,專為惡劣的制造環(huán)境而設(shè)計(jì)。經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的溫控,耐腐蝕,超純陶瓷傳感器可在多年內(nèi)提供的跨度穩(wěn)定性,并具有蕞先進(jìn)的零穩(wěn)定性。附帶獨(dú)特傳感器屏蔽,可保護(hù)儀表免受不良過(guò)程副產(chǎn)品的影響。先進(jìn)的電子元件為所有應(yīng)用和可選的現(xiàn)場(chǎng)總線接口提供廣泛的可配置信號(hào)調(diào)理。創(chuàng)新的加熱概念使觸摸表面更加涼爽,節(jié)省了寶貴的工具空間。是同類產(chǎn)品中小的真空測(cè)量?jī)x器。 隔膜真空計(jì)特點(diǎn): 緊湊,節(jié)省寶貴的工具空間 易于集成,各種滿量程和法蘭,標(biāo)準(zhǔn)有兩個(gè)設(shè)定點(diǎn) 輕松一鍵式或遠(yuǎn)程信號(hào)零點(diǎn)命令,零點(diǎn)偏移可調(diào) 診斷端口,用于快速維護(hù)和維護(hù) 兩年保修,更長(zhǎng)的使用壽命,先進(jìn)的加熱概念和儀表保護(hù) 即使在惡劣的等離子應(yīng)用中,由于出色的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性,也無(wú)需長(zhǎng)期重新校準(zhǔn) 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn):CE,EN,UL,SEMI,RoHS 典型應(yīng)用 CVD,蝕刻,PVD和其他半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝 隔膜真空計(jì)是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測(cè)量壓強(qiáng)的真空計(jì),其基本原理所示。電容式隔膜真空計(jì)內(nèi)部有兩個(gè)空間,隔膜右側(cè)連接真空,左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。如果p2 p1,則隔膜就向右側(cè)變形;反之,就向左側(cè)變形。隔膜和電極之間處于絕緣狀態(tài),兩者之間的距p1 和p2之間的壓強(qiáng)差很小時(shí),隔膜的變形也很小,要測(cè)量真空度,需要隔膜更薄。可是,如果兩側(cè)壓強(qiáng)差很大,則隔膜可能發(fā)生永玖變形甚至破損。通常情況下,為了防止隔膜過(guò)度變形,在電極和隔膜之間施加直流電壓,通過(guò)靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過(guò)測(cè)量直流電壓值,即可知壓強(qiáng),這種真空計(jì)被稱為單電容隔膜真空計(jì)。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實(shí)現(xiàn)的差動(dòng)式雙電容隔膜真空計(jì),進(jìn)一步提高了測(cè)量精度和范圍。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金。為避免腐蝕氣體的腐蝕,也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。電容式隔膜真空計(jì)測(cè)量的真空度與氣體成分無(wú)關(guān),反應(yīng)快、重復(fù)性高,非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測(cè)量。離隨p2 的變化而改變,從而引起其間的電容變化。反過(guò)來(lái),通過(guò)測(cè)量隔膜和電極之間的電容,就可知隔膜的變形量,繼而推算出壓強(qiáng)。

 
 
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