7XB大平臺集成電路檢測金相顯微鏡是專為IT行業(yè)大面積集成電路,晶片的質(zhì)量檢測而設(shè)計(jì)開發(fā)制造的,配有大移動范圍的載物臺、圖像清晰,襯度好。是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)顯微鏡使用。
性能特點(diǎn):
超大型載物臺,樣品可以大范圍的快慢速移動,擴(kuò)大檢測領(lǐng)域的使用范圍;
技術(shù)參數(shù):
1、目鏡筒:雙目鏡
2、目鏡:10X(18);
3、金相物鏡:
a、放大倍數(shù):4X、10X、20X、40X;
b、數(shù)值孔徑(N.A):0.10、0.25、0.40、0.65;
c、有效工作距離(mm):17.912、6.544、1.05、0.736;
4、介 質(zhì):干;
5、物鏡轉(zhuǎn)換器:四孔式;
6、總放大倍率:40X-400X;
7、載物臺面積:350mm*255mm,移動范圍200*200mm;
8、粗微動調(diào)焦范圍25mm,微調(diào)轉(zhuǎn)動一圈樣品升降0.2mm,格值2um;
9、光源:鹵素?zé)?V20W,內(nèi)藏式連續(xù)調(diào)光電源;
標(biāo)準(zhǔn)配置:
1、主機(jī):1臺;
2、觀察鏡筒:1只;
3、10目鏡:1對;
4、物鏡:4、10、20、40X各一只;
5、鹵素?zé)襞荩?只;
6、合格證、保修卡、說明書:1套;
選購件:
長距物鏡:50、80、100X;
數(shù)碼適配鏡、數(shù)碼相機(jī);
目鏡:12.5X、10X分劃;