91儀器信息網(wǎng)訊 2019年7月10日，由中國物理學(xué)會(huì)半導(dǎo)體物理專業(yè)委員會(huì)主辦的第二十二屆全國半導(dǎo)體物理學(xué)術(shù)會(huì)議(SPC2019)在杭州第一世界大酒店盛大開幕。朱邦芬院士、黃如院士、杜瑞瑞教授、段鑲鋒教授、熊啟華教授、彭笑剛教授、陸衛(wèi)教授、陸朝陽教授等業(yè)界知名學(xué)者蒞臨大會(huì)并作大會(huì)特邀報(bào)告，大會(huì)同時(shí)吸引半導(dǎo)體物理學(xué)領(lǐng)域逾千名專家學(xué)者同聚杭州，共議半導(dǎo)體物理學(xué)國際重大前沿領(lǐng)域的發(fā)展動(dòng)向。

會(huì)議簽名墻

全國半導(dǎo)體物理學(xué)術(shù)會(huì)議最早由已故世界著名物理學(xué)家、國家最高科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)?wù)唿S昆院士于1978年倡導(dǎo)召開，每兩年舉行一次(奇數(shù)年召開)，與兩年一次的國際半導(dǎo)體物理會(huì)議(偶數(shù)年召開)交錯(cuò)進(jìn)行。會(huì)議宗旨是促進(jìn)國內(nèi)半導(dǎo)體物理研究領(lǐng)域的學(xué)術(shù)交流，把握國際重大前沿領(lǐng)域的發(fā)展動(dòng)向，提升國內(nèi)半導(dǎo)體物理及相關(guān)學(xué)科的國際影響力。

大會(huì)現(xiàn)場

本屆會(huì)議由浙江大學(xué)物理學(xué)系和浙江大學(xué)硅材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室承辦。會(huì)議將由9個(gè)特邀大會(huì)報(bào)告以及九大主題分會(huì)場的分會(huì)報(bào)告組成，同時(shí)，本屆會(huì)議期間，還將公布2017-2018年度黃昆物理學(xué)獎(jiǎng)(兩年一度)的獲獎(jiǎng)人，獲獎(jiǎng)學(xué)者將就獲獎(jiǎng)工作做專題報(bào)告。

大會(huì)首日上午，首先進(jìn)行了大會(huì)開幕式和大會(huì)報(bào)告上半部分的5個(gè)大會(huì)邀請(qǐng)報(bào)告。

浙江大學(xué)物理系吳惠楨教授主持大會(huì)

浙江大學(xué)副校長嚴(yán)建華致辭

大會(huì)主席中國科學(xué)院院士楊德仁致辭

大會(huì)報(bào)告人：中國科學(xué)院院士 清華大學(xué)物理系 朱邦芬

報(bào)告題目：一個(gè)大寫的人和中國固體物理的奠基人——紀(jì)念黃昆先生百年誕辰

報(bào)告中，朱邦芬談到自己與黃昆先生在一個(gè)辦公室研究達(dá)15年之久，每天都跟他討論問題，無拘無束，有幸成為世上受他教誨最多的一個(gè)人。黃昆先生離開我們已有 年了，離開越久，越感到他人格的偉大，越覺得他做事站在全國的高度而不是從本單位本領(lǐng)域出發(fā)精神的可貴，越思念他一生奮戰(zhàn)在教學(xué)和科研第一線的大師風(fēng)范及科學(xué)精神，這些都是我國當(dāng)前最欠缺和急需的。隨之，朱邦芬與大家共同追憶了黃昆先生如何做人、做事、做學(xué)問，并期待他的大師風(fēng)范為更多的年青一代半導(dǎo)體物理和技術(shù)專家學(xué)習(xí)繼承。

大會(huì)報(bào)告人：中國科學(xué)院院士 北京大學(xué) 黃如

報(bào)告題目：后摩爾時(shí)代微電子技術(shù)發(fā)展——探索與思考

隨著微電子技術(shù)和信息系統(tǒng)的飛速發(fā)展，后摩爾時(shí)代算力瓶頸問題日漸突出，系統(tǒng)面臨著功耗墻、存儲(chǔ)墻等關(guān)鍵難題，報(bào)告中黃如分享討論了后摩爾時(shí)代面臨的核心技術(shù)挑戰(zhàn)，接著對(duì)不同算力需求下的微電子器件技術(shù)發(fā)展進(jìn)行探討，并展望了適于算存融合范式的新器件技術(shù)。

大會(huì)報(bào)告人：美國加州大學(xué)洛杉磯分校段鑲峰教授

報(bào)告題目：Van der Waals Integration a New Pathway to Artificial Heterostructures and High Performance Devices

不同材料的異構(gòu)集成是材料科學(xué)界的長期追求，為現(xiàn)代電子學(xué)和光電子學(xué)奠定了物質(zhì)基礎(chǔ)。典型的材料集成策略(例如化學(xué)外延生長)通常涉及強(qiáng)化學(xué)鍵，并且通常限于具有嚴(yán)格的結(jié)構(gòu)匹配和處理兼容性的材料。報(bào)告中，段鑲峰介紹了范德瓦爾斯集成作為一種通用材料集成策略，用于創(chuàng)建具有最小集成引起的損傷和界面狀態(tài)的各種異質(zhì)結(jié)構(gòu)，從而使用傳統(tǒng)難以實(shí)現(xiàn)的“化學(xué)集成”方法實(shí)現(xiàn)高性能。近來亮點(diǎn)工作包括形成沒有費(fèi)米能級(jí)釘扎以達(dá)到肖特基-莫特極限的范德華金屬/半導(dǎo)體觸點(diǎn)，用于高性能大面積電子設(shè)備新型薄膜的開發(fā)。并且創(chuàng)建了一類新的范德瓦爾斯二維超晶格，每層具有完全不同的層，同時(shí)具有原子精度等。最后，段鑲峰展望了這種異構(gòu)結(jié)構(gòu)的潛力，以逐漸接近物理極限，使設(shè)備具有前所未有的性能或現(xiàn)有材料無法達(dá)到的全新功能，以及相關(guān)的挑戰(zhàn)。

大會(huì)報(bào)告人：浙江大學(xué)化學(xué)系 彭笑剛教授

報(bào)告題目：溶液半導(dǎo)體納米晶：激發(fā)態(tài)合成控制與應(yīng)用

溶液半導(dǎo)體納米晶是在溶液中合成與加工的納米尺寸無機(jī)半導(dǎo)體單晶。如果半導(dǎo)體納米晶尺寸在半導(dǎo)體激子半徑范圍內(nèi)，那么納米晶將表現(xiàn)出尺寸相關(guān)的光學(xué)、電學(xué)、化學(xué)特性，因而得名為溶液量子點(diǎn)(Colloidal Quantum Dots)。由于它們尺寸相關(guān)的光學(xué)性質(zhì)、高發(fā)光純度、高化學(xué)與光化學(xué)穩(wěn)定性、溶液加工性，溶液半導(dǎo)體納米晶可能是人類至今為止發(fā)現(xiàn)的最優(yōu)秀發(fā)光材料和光電材料。彭笑剛報(bào)告中介紹到，溶液半導(dǎo)體納米晶已經(jīng)被研究了40余年，但它們潛在的應(yīng)有價(jià)值直到最近才部分得以實(shí)現(xiàn)。與體相晶體不同，溶液半導(dǎo)體納米晶擁有大量的表面。大量表面的存在，是溶液量子點(diǎn)靈活性的基礎(chǔ)，但也會(huì)帶來大量的表面電子態(tài)。接著為繞發(fā)光和光電材料的核心——激發(fā)態(tài)，進(jìn)行了一系列相關(guān)討論，如：怎樣把合成化學(xué)與激發(fā)態(tài)性質(zhì)緊密結(jié)合?有可能結(jié)合嗎?激發(fā)態(tài)合成化學(xué)意味著怎樣的基礎(chǔ)研究機(jī)會(huì)?激發(fā)態(tài)合成化學(xué)與應(yīng)用關(guān)系如何?

大會(huì)報(bào)告人：帕克原子力顯微鏡(Park Systems)創(chuàng)始人&CEO Sang-il Park博士

報(bào)告題目：Advanced Atomic Force Microscopy for Semiconductor Metrology

Sang-il Park博士在報(bào)告中講到，在人類科學(xué)進(jìn)入納米級(jí)研究和開發(fā)世界背景下，原子力顯微鏡(AFM)已被廣泛使用，因?yàn)樗梢栽诙喾N類型樣品和多種環(huán)境條件下提供納米級(jí)的各種物理性質(zhì)參數(shù)。隨著近來AFM自動(dòng)化技術(shù)的發(fā)展，AFM的應(yīng)用正在擴(kuò)展延伸至硬盤制造、半導(dǎo)體工業(yè)等工業(yè)領(lǐng)域。特別是由于半導(dǎo)體器件尺寸的減小及其對(duì)器件性能的直接影響，微、納米結(jié)構(gòu)的精確測量和分析正成為一個(gè)極其重要的問題。此外，用于微觀結(jié)構(gòu)測量的設(shè)備(CD-SEM、TEM、OCD等)的局限性也在不斷增加(如分辨率限制、試樣制備和測量造成的試樣損傷等)。為克服這些挑戰(zhàn)， AFM的無損納米結(jié)構(gòu)測量和廣泛利用的能力正在引起關(guān)注，并正在成為下一代在線測量解決方案之一。接著分享了帕克原子力顯微鏡根據(jù)這些需求開發(fā)的一系列半導(dǎo)體AFM解決方案，以及相應(yīng)的關(guān)鍵AFM技術(shù)，也介紹了一些半導(dǎo)體計(jì)量成功案例。同時(shí)透露，測量高分辨率3D AFM計(jì)量的新應(yīng)用也正在探索中，且半導(dǎo)體行業(yè)也正在開發(fā)一種新協(xié)議，以提高產(chǎn)量和器件性能。

各分會(huì)場掠影

同天下午，九個(gè)主題分會(huì)場報(bào)告同時(shí)上演，來自全國各地的半導(dǎo)體物理學(xué)專家們在各個(gè)會(huì)場紛紛進(jìn)行了現(xiàn)場報(bào)告及互動(dòng)交流。更多會(huì)議后續(xù)內(nèi)容，請(qǐng)關(guān)注91儀器信息網(wǎng)后續(xù)報(bào)道。

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