氦氣作為惰性氣體，不會(huì)腐蝕設(shè)備，且在容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境中干擾較少，信號(hào)較純，因而

常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有檢漏儀（即調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體

分析儀）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量

大小。

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀

器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。

以西格瑪旗下的 SAFC Hitech 子公司為例

Epichem (Epichem Limited,特殊氣體分部) 要求 ESS 設(shè)計(jì)并建造了一套檢測(cè)系統(tǒng), 用于泵壓、

烘烤、真空檢漏、正壓泄漏檢測(cè)以及有機(jī)金屬起泡劑的制備氣認(rèn)證。

起泡器 (過去常用于向半導(dǎo)體工業(yè)提供有機(jī)金屬) 是一些體積較小的金屬罐，配置有進(jìn)出閥。

由于具有高真空超潔凈的特點(diǎn)，因此起泡器在填充前要求相當(dāng)?shù)臐崈?。同時(shí)，由于起泡器內(nèi)

填充的是氧氣，避免泄漏發(fā)生爆炸也至關(guān)重要。

針對(duì)此應(yīng)用，ESS 開發(fā)出了一種特殊的雙進(jìn)樣端口的質(zhì)譜系統(tǒng)，它具有一個(gè)經(jīng)校準(zhǔn)的正壓泄

漏測(cè)試模塊，還具有一個(gè)自動(dòng)化的高真空測(cè)試模塊。

首先，將起泡器放置于平臺(tái)上。使用氦氣填充至一定壓力，所有的接頭都使用正壓泄漏檢測(cè)

裝置 嗅辨 一下。任何檢測(cè)到的泄漏記錄與起泡器序列號(hào)一一對(duì)應(yīng)，發(fā)生任何超過用戶設(shè)

置的zui大允許結(jié)果泄漏的起泡器都會(huì)被拒絕放行。

然后將起泡器安裝 10 個(gè)一排的裝置上，該裝置配有無油前級(jí)泵和渦輪分子泵。在軟件完全

控制下，外部管線抽真空并保持狀態(tài)，然后操作者使用外噴霧檢查所有接頭時(shí)， 質(zhì)譜系統(tǒng)

可以監(jiān)測(cè)任何氦泄漏。

若通過泄漏測(cè)試，將起泡器抽真空、烘烤。測(cè)試結(jié)束時(shí)，質(zhì)譜系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)分析起泡器和接頭

管線中的氣體。為保證測(cè)試結(jié)果，所有起泡器中的水，氧和溶劑的濃度必須低于 1 ppm。

測(cè)試結(jié)束時(shí)，會(huì)提醒操作人員，并顯示測(cè)試結(jié)果是通過還是拒絕，所有測(cè)試數(shù)據(jù)將會(huì)被記錄，

便于溯源。

與 ReacTorr-V 具有相同的硬件平臺(tái)

占地空間小，節(jié)省潔凈室操作空間

配備專用軟件，用于半導(dǎo)體檢測(cè)

可用于解決客戶故障，優(yōu)化半導(dǎo)體應(yīng)用，節(jié)省時(shí)間和金錢。

Reactorr-v 真空過程監(jiān)控的質(zhì)譜系統(tǒng)

專用于監(jiān)測(cè)真空處理，如真空加熱處理，太陽能電池板制程等

配備全自動(dòng)進(jìn)樣端口，可不中斷或不干預(yù)式監(jiān)測(cè)整個(gè)過程

可以直接與真空腔室耦合連接

英國(guó) ESS 產(chǎn)品

ESS 公司是世界yi流的高質(zhì)量質(zhì)譜系統(tǒng)制造商，開發(fā)了一系列氣體分析應(yīng)用，和制造了氣體

分析專用的 ms 監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。

ESS 產(chǎn)品型號(hào)眾多，分別針對(duì)各種應(yīng)用。我們提供適合各種應(yīng)用的不同進(jìn)樣系統(tǒng)以及特定型

號(hào)，一直在持續(xù)開發(fā)新品以滿足新的應(yīng)用，敬請(qǐng)關(guān)注。