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兩種規(guī)格型號的等離子體光譜儀有哪些特點(diǎn)

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-06-24  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):596
發(fā)布時(shí)間:2019-04-09  點(diǎn)擊次數(shù):221次 等離子體發(fā)射光譜研究是了解放電條件下氣體狀態(tài)的有效手段和用于無干擾診斷等離子體狀態(tài)參數(shù)的方法。它為研究不同實(shí)驗(yàn)參數(shù)下的等離子體行為提供了一種很好的方法。通過采集射頻磁控濺射過程中等離子體發(fā)射光譜,可以計(jì)算出電子密度和電子溫度,并且能夠分析濺射功率、工作壓強(qiáng)等實(shí)驗(yàn)參數(shù)對等離子體狀態(tài)的影響。
AvaSpec Multi-channel系列等離子體光譜儀基于Avantes公司的AvaBench-75光學(xué)平臺,采用模塊化設(shè)計(jì),可以配置成單通道、雙通道、四通道或多通道(可達(dá)10個(gè)通道)。每個(gè)通道可以設(shè)置不同的積分時(shí)間或信號平均次數(shù),且各通道完全同步采集。等離子體光譜儀有兩種規(guī)格型號,AvaSpec-ULS2048-x-USB2和AvaSpec-ULS3648-x-USB2(x代表通道數(shù))。 AvaSpec-ULS2048光譜儀在接受外觸發(fā)信號之后僅延遲1.3微秒就開始采樣。此外,該光譜儀也可以發(fā)出TTL信號來觸發(fā)脈沖激光器或脈沖光源,并可設(shè)置開始采樣的時(shí)間延遲(-20ns至89sec,步長21ns)。適用于需要快速響應(yīng)或精確時(shí)序控制的應(yīng)用(時(shí)間抖動 21ns)。AvaSpec-ULS3648光譜儀CCD像素?cái)?shù)多,分辨率比AvaSpec-ULS2048光譜儀提高了約30%,但靈敏度降低了50%。  全新的AvaSpec-USB3.0平臺為多通道的應(yīng)用提供了塊化。每個(gè)通道可以設(shè)置不同的積分時(shí)間或信號平均次數(shù),而且可以保證各個(gè)通道完全同步地開始掃描。并可以通過特有的Store to RAM功能實(shí)現(xiàn)多通道高速同步測量,采樣頻率可達(dá)900幅/秒。此外,每個(gè)通道都可以選用不同類型的探測器,覆蓋很寬的波長范圍,實(shí)現(xiàn)高分辨率的測量。 

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