日立新一代超高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3500系列: 

1.成像功能

SU3500所具備的新型的模擬圖像和改進(jìn)后的電子光學(xué)系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時(shí)，SE圖像可達(dá)7nm,5KV電壓時(shí)，BSE圖像可達(dá)10nm。新開發(fā)的自動(dòng)多級電子槍偏壓機(jī)構(gòu)能夠在不降低電子束大小的情況下，在一定范圍內(nèi)的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此，此款產(chǎn)品與S-3400N相比，噪音得以大幅減少，成像更加清晰。

通過SU3500的新開發(fā)并優(yōu)化過的圖像處理方法，現(xiàn)在可以很容易地在快速掃描模式下觀察到低噪聲的圖像。高速自動(dòng)聚焦控制(AFC)和自動(dòng)亮度及對比度控制(ABCC)的增強(qiáng)，使您可以縮短*2SEM(掃描電子顯微鏡)的觀察循環(huán)時(shí)間(TAT)

2.低真空功能操作的優(yōu)異性

新設(shè)計(jì)的真空程序使真空范圍可以達(dá)到6-650Pa,實(shí)時(shí)真空反饋允許在用戶特定的壓力設(shè)定下保持樣品室的快速的真空穩(wěn)定性。在低真空模式下直接觀察更清晰。

SU3500具有一個(gè)可變壓力模式，允許對處于自然狀態(tài)下的潮濕，油膩和非導(dǎo)電樣品進(jìn)行觀察。由于正電離子是電子束撞擊殘余氣體分子的結(jié)果，所以不需要進(jìn)行傳統(tǒng)的樣品前處理，比如干燥和金屬鍍層。

新開發(fā)的超高靈敏度可變壓力探測器得以進(jìn)一步優(yōu)化，特別是在可變壓力模式下觀察超薄表面的微觀結(jié)構(gòu)方面。通過同時(shí)觀察從標(biāo)準(zhǔn)BSE探測器得到的組成圖像，使得在多種應(yīng)用下進(jìn)行的各種各樣的分析都成為可能。振木先生以銅礦物、樹脂填料、水虱等圖像為例真實(shí)的再現(xiàn)了SU3500的這項(xiàng)功能。

3.友好的用戶界面

SU3500的用戶界面使工作效率得到極大的提高。它的顯示器像素為：大1,920 1,200像素 ，采用24.1英寸寬屏顯示器，提高了可視性和操作性，寬屏顯示器不僅使得單一模式下的顯示尺寸更大，而且還可為種用途實(shí)現(xiàn)多種顯示模式。用戶可以通過菜單操作選擇單幅圖像、雙幅圖像、四幅圖像以及全屏幕圖像顯示。

單幅圖像(800 600像素)的功能是便于找到視野及聚焦；雙幅圖像(800 600像素 2)可以同時(shí)顯示不同的探測器觀測到的實(shí)時(shí)SEM圖像。例如，此功能對于顯示超薄表面的微觀結(jié)構(gòu)的UVD圖像和成分BSE圖像非常有效；四幅圖像(640 480像素 4)可以同時(shí)顯示不同信號的4種實(shí)時(shí)SEM圖像。例如，此功能對顯示SE圖像，BSE成分圖像，BSE形貌圖像和BSE 3D圖像非常有效；全屏幕圖像(1,280 960)大尺寸和高分辨率的實(shí)時(shí)圖像，適合多人同時(shí)觀察。信號混合功能是將同一視野內(nèi)的不同信號合成到一幅畫面里的功能。例如：具有樣品表面微細(xì)結(jié)構(gòu)信息的二次電子(SE)像和具有豐富的成分信息的背散射電子(BSE)像，通過合成可以在一幅畫里同時(shí)顯示樣品表面的微觀形貌和成分信息，更易于評價(jià)與解析。

顯示圖像的寬高有2種模式可以供選擇。用戶的界面可以根據(jù)用戶的應(yīng)用目的選擇佳的操作條件。對于SEM的初學(xué)者來說，可以在不具備任何技術(shù)知識的情況下很容易地操作。除了通過操作按鈕之外，諸如聚焦，放大倍率，掃描速度，亮度自動(dòng)調(diào)整以及圖像都可以通過面板完成操作。嵌入式日常維護(hù)視頻文件使您能正確有效的進(jìn)行日常維護(hù)。

4.多功能樣品室能容納各種樣品

優(yōu)中心5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺主要是：1.移動(dòng)X-Y，傾斜T，旋轉(zhuǎn)R，Z軸(高度)控制通過軌跡球(操縱桿為選配)，鼠標(biāo)和輸入數(shù)值控制。2.X-Y軸移動(dòng)步幅控制通過點(diǎn)擊可以實(shí)現(xiàn)每一個(gè)指定距離的移動(dòng)。對于觀察等間隔的圖形有效。3.與Z軸聚焦點(diǎn)聯(lián)動(dòng)的高度軸自動(dòng)調(diào)整。即使當(dāng)Z軸位置改變時(shí)，圖形也將隨時(shí)保持聚焦?fàn)顟B(tài)。4.優(yōu)中心傾斜，旋轉(zhuǎn)。從現(xiàn)在的觀察位置傾斜，旋轉(zhuǎn)樣品時(shí)，圖形不會大幅地偏離視野。5.觀察位置的圖形顯示。此功能可把樣品和物鏡的相對位置在一個(gè)圖形上顯示出來。

圖像導(dǎo)航允許操作者使用一個(gè)低倍率的SEM圖像和光學(xué)范圍的圖像，或者數(shù)字圖像(可用的文件格式是BMP,JPEG和TIFF)瀏覽樣品尋找視野。

RISM：通過點(diǎn)擊其位置，可以把感興趣的部分移動(dòng)到屏幕中心位置。ZOOM：通過拖動(dòng)將感興趣的點(diǎn)框起來，然后被框起來的區(qū)域?qū)⒆詣?dòng)居中并擴(kuò)大。

樣品臺移動(dòng)到某抓圖位置，即使選擇后拍攝的100張圖像中的任何一幅，都可以重現(xiàn)其樣品臺坐標(biāo)。

樣品座/真空系統(tǒng)：支持多種觀察的樣品座：有適用于14和33(12.7毫米樣品托)個(gè)樣品的多用途樣品座。還有為特定目的而準(zhǔn)備的樣品座。擇樣品托號碼，按移動(dòng)鍵即可將選好的位置移動(dòng)到畫面中心。

SU3500在真空系統(tǒng)的閥門上采用可靠性高的氣動(dòng)閥。該氣動(dòng)閥在遭遇意外停電時(shí)可瞬間關(guān)閉。因此可以防止主機(jī)和樣品室的真空劣化。一般帶有低真空功能的電鏡需要2臺機(jī)械泵，而SU3500則只要一臺即可。

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