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實(shí)驗室用礦物研究光學(xué)顯微鏡都配有顯微成像裝置

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-03-18  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):1058

實(shí)驗室用的材料檢測光學(xué)顯微鏡都配有顯微成像裝置

采用光學(xué)放大是檢驗半導(dǎo)體材料和器件的主要方法之一。
它包括科研金相顯微鏡、低倍立體多功能顯微鏡以及低倍和高倍
三目非立體偏光顯微鏡.

此外,多功能顯微鏡中各種附屬裝置如干涉儀、相襯和干涉襯度也是

很有用的.鑒于大多數(shù)半導(dǎo)體對可見光不透明,

偏振光研究(在礦物研究中廣泛使用)通常只有采用紅外轉(zhuǎn)換器
代替常規(guī)的目鏡時才能進(jìn)行.

為了儲存各種光學(xué)檢驗的結(jié)果,常規(guī)地使用低倍和高倍
拍攝技術(shù).大多數(shù)實(shí)驗室用的金相顯微鏡都配有顯微成像裝置.

若需要更高的放大倍數(shù),尤其是要同時增加景深時,可使用掃描電子顯微鏡.

由于它們的價格、復(fù)雜性和規(guī)模,妨礙了它們象光學(xué)顯微鏡那樣廣泛地應(yīng)用.

但是,它們被引進(jìn)半導(dǎo)體工業(yè)后,對微電路相互連接系統(tǒng)的了解
已經(jīng)產(chǎn)生了非常大的影響.

 


 
關(guān)鍵詞: 顯微鏡 金相 顯微 光學(xué) 裝置
 
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