SS-150系列掃描電鏡具有強(qiáng)大軟件功能,操作簡單,易于維護(hù);
自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品;
軟件實(shí)現(xiàn)檢測圖形實(shí)時存儲;
創(chuàng)新點(diǎn): (1)首次將場發(fā)射燈絲穩(wěn)定運(yùn)行在臺式電鏡上,采用肖特基場發(fā)射燈絲,肖特基場發(fā)射燈絲發(fā)射束流大,束流穩(wěn)定性高,既適合做SEM成像,還適合做能譜分析。首次將臺式掃描電鏡的分辨率提升到2.5nm,放大倍數(shù)提升到50萬倍; (2)為了滿足場發(fā)射燈絲對超高真空的要求,創(chuàng)新性地采用全自動真空鎖技術(shù),獲得了場發(fā)射燈絲掃描電鏡最快的抽真空速度:15秒抽真空; (3)作為桌面型設(shè)備,為了滿足50萬倍拍照需求,...
創(chuàng)新點(diǎn): (1)首次將場發(fā)射燈絲穩(wěn)定運(yùn)行在臺式電鏡上,采用肖特基場發(fā)射燈絲,肖特基場發(fā)射燈絲發(fā)射束流大,束流穩(wěn)定性高,既適合做SEM成像,還適合做能譜分析。首次將臺式掃描電鏡的分辨率提升到2.5nm,放大倍數(shù)提升到50萬倍; (2)為了滿足場發(fā)射燈絲對超高真空的要求,創(chuàng)新性地采用全自動真空鎖技術(shù),獲得了場發(fā)射燈絲掃描電鏡最快的抽真空速度:15秒抽真空; (3)作為桌面型設(shè)備,為了滿足50萬倍拍照需求,...