納米解析度的穿透式電子顯微鏡-測量儀器

納米級空間解析度的穿透式電子顯微術(shù)(transmission electron microscopyTEM)與掃描探針顯微術(shù)(scanning probe microscopy，SPM)

是納米量測技術(shù)的兩大軸心技術(shù)，前者源自于電子光學(xué)理論基礎(chǔ)；

后者則表面科學(xué)的極致表現(xiàn)。掃描探針顯微鏡技術(shù)現(xiàn)已成為輔助納米科技發(fā)展的關(guān)鍵檢測技術(shù)，

其特色為訊號靈敏度極高，并可提供高空間解析度的試片表面訊號。
自掃描穿遂顯微鏡(scanning tunneling microscope, STM)問世并用于觀測矽面的表面形貌影像，短短二十多年之間，

掃描探針顯微鏡技術(shù)已被拓展并廣泛運用于量測分析電、光、熱、力、生、磁等各方面的表面微觀物理性質(zhì)，

甚至亦可用于納米加工與制造的領(lǐng)域，

自掃描穿遂顯微鏡(scanning tunneling microscope，STM)問世以來，短短二十多年之間，
結(jié)合各種不同性質(zhì)的納米探針，已發(fā)展出許多不同用途的掃描探針顯微鏡技術(shù)，
并成功應(yīng)用于電、光、力、磁等各種微觀物理性質(zhì)的量測分析上，如今，掃描探針顯微鏡技術(shù)已成為世界上發(fā)展納米量測技術(shù)的趨勢主流。