關于測量工件顯微鏡的光學原理中光源的介紹

光 
有絕佳的輪廓線。
可用在半透明工件。
無法得知工件表面的顏色，瑕疵和高低。

同軸光 
可使表面結構倍強調。
表面有不平的地方會變暗。
突顯半透明的工件。

均勻光 
不再加以強調表面結構。
提高工件吸收光線的對比。
高度的效果會降低。

低角光 
強調高度變化。
有高低不平的表面會變亮。
平坦光滑的表面會變暗。
外形和輪廓被強調。

複合光 
可測得高度的變化。