每一點(diǎn)待測(cè)曲線與基準(zhǔn)中心線之誤差值
待測(cè)曲線之總長(zhǎng)度
此計(jì)算我們是使用電腦軟體(Matlab)來(lái)加以分析,首先以薄
膜測(cè)厚儀量測(cè)到的曲線數(shù)據(jù),利用離散小波函數(shù)(Wavelet)轉(zhuǎn)換,
此方法可以將我們量測(cè)到數(shù)據(jù)作小波函數(shù)轉(zhuǎn)
換,將其濾波成高、低頻兩部分作分析,并且可以再將其低頻的部
分作第二階的小波函數(shù)轉(zhuǎn)換,也可在作第三階、第四階 …的轉(zhuǎn)換,
最多可至第八階的轉(zhuǎn)換,如此可以用不同的階數(shù)轉(zhuǎn)換,來(lái)作個(gè)別所
需要的分析,以誤差值最小的為其所需之分析階數(shù),如同量測(cè)海岸
線之原理一樣,量測(cè)范圍以適當(dāng)?shù)暮0兜匦螢橹?,忽略因海岸邊?br>頭的誤差,以適當(dāng)之范圍作分析。而使用小波函數(shù)轉(zhuǎn)換的計(jì)算也如
同量測(cè)海岸線一樣,可以選擇一個(gè)適當(dāng)?shù)碾A數(shù)做轉(zhuǎn)換,經(jīng)過(guò)我們以
各階的分析后,
發(fā)現(xiàn)我們量測(cè)到的各各微光學(xué)元件數(shù)據(jù),
經(jīng)過(guò)一次的小波函數(shù)轉(zhuǎn)換值和實(shí)際理論數(shù)據(jù)誤差值為
最小,因?yàn)橐孕〔ê瘮?shù)轉(zhuǎn)換在對(duì)其第一次轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù),所以我們
以小波函數(shù)轉(zhuǎn)換作一次的分析。而經(jīng)過(guò)一次小波函數(shù)轉(zhuǎn)換其低頻的
部分作為我們量測(cè)數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)中心線,其高頻的部分也就等于我們
的粗糙度值,所以以小波函數(shù)轉(zhuǎn)換作分析,其有比較快的運(yùn)算速度
及其準(zhǔn)確性。