高精度測(cè)量工具顯微鏡制造廠商-上海光學(xué)儀器廠

1.微直角錐陣列（寬度為 100μm、深度為 50μm）：

微直角錐陣列剖面圖

為微直角錐陣列剖面圖，上圖為微直角錐陣列局部
放大剖面圖，下圖為原尺寸剖面圖，其線條非常平順。

此微直角錐
陣列的加工過(guò)程是由直角三角形的光罩所加工的，由于我們?cè)O(shè)計(jì)之
微直角錐陣列寬度為 100μm、深度為 50μm，故由上圖可知其已經(jīng)
接近我們所要的直角錐，

再由下圖可知在其接近直角錐的地方有些
不平整，反而造成接近直角錐的地方不直角，故此為造成誤差的所
在。而其所控制之激光光束照射能量為 0.188mJ，

2.微透鏡陣列（寬度為 215μm、曲率半徑為 250μm）：

微透鏡陣列剖面（一）

為微透鏡陣列局部放大剖面圖，上圖為微透鏡陣列局部
放大剖面圖，

為原尺寸剖面圖，其線條也非常平順。此微透鏡
陣列的加工過(guò)程是由圓弧形的光罩所加工而成，

而此我們所設(shè)計(jì)之
微透鏡寬度為 215μm、曲率半徑為 250μm、加工所需之深度為 25
μm，故由上圖可知其所能控制之參數(shù)已經(jīng)接近我們所要的，其所控
制之激光光束照射能量為 0.140mJ，激光光束脈衝頻率為 20 Hz，與
工件拖拉速度為 1.6mm/min，而經(jīng)過(guò)如微直角錐陣列之計(jì)算其加工
系數(shù)（K）值，K=683.7633μm2/sec，

為微透鏡陣列局部放大剖面圖，上圖為微透鏡陣列局

部放大剖面圖，下圖為原尺寸剖面圖，其線條也非常平順。此微透
鏡陣列的加工過(guò)程是由半圓形的光罩所加工的，欲用來(lái)與圓弧形光
罩之加工的微透鏡作光點(diǎn)圖比較，而我們?cè)O(shè)計(jì)之微透鏡寬度為 50μ
m、曲率半徑為 25μm、加工所需之深度為 25μm，故由上圖可知其
所能控制之參數(shù)已經(jīng)接近我們所要的，其所控制之激光光束照射能
量為 0.295mJ，激光光束脈衝頻率為 20 Hz，與工件拖拉速度為 0.7
mm/min，而經(jīng)過(guò)計(jì)算其加工系數(shù)（K）值，K=401.0483μm2/sec，