光學(xué)精微模具的制造過程檢測(cè)光學(xué)測(cè)量顯微鏡

從“制造技術(shù)”觀點(diǎn)看，不同的光學(xué)模具，有不同的制造技術(shù)，故若能將不同的制造技術(shù)整合于同一部工具
機(jī)系統(tǒng)上，則可省時(shí)、省工及省成本。

所以開發(fā)“高剛性”、“微型化”與“多功化”的高精度工具機(jī)有其必要，以達(dá)到多樣化光學(xué)精微模具制造之目的。
適用于光學(xué)精微模具開發(fā)的高剛性精微工具機(jī)之設(shè)計(jì)，

第一階段為工具機(jī)建構(gòu)與驗(yàn)證，第二階段對(duì)非球面陣列透鏡模仁與光柵繞射元件進(jìn)行加工測(cè)試，
期以低成本方式，開發(fā)一部適用于光學(xué)精微模具制造的高剛性微型工具機(jī)，
并建構(gòu)光學(xué)精微模具之精微制造技術(shù)于此工具機(jī)系統(tǒng)上，包括高精密車削、高精密銑削與高精密飛刀切削
等技術(shù)，探求其可行性。為獲致高穩(wěn)定加工目的，在開發(fā)的工具機(jī)系統(tǒng)上，透由工具機(jī)系統(tǒng)內(nèi)部，

擷取各軸動(dòng)態(tài)訊號(hào)，以便獲得工具機(jī)之動(dòng)態(tài)振動(dòng)資料，并于加工期間調(diào)整主軸轉(zhuǎn)速、工件進(jìn)給速率與進(jìn)深等參數(shù)，以便抑制加工時(shí)之振動(dòng)發(fā)生，提高光學(xué)模具精度。
在“光學(xué)模具材料”方面，本研究亦利用無電鍍(chemical plating)沉積技術(shù)，
制作鎳磷合金(Nickel-phosphorus alloy)，以獲致高硬度、高抗腐蝕性與高光澤度的光學(xué)模具