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多軸長行程微定位工具測量影像測量儀器
主要針對掃描探針顯微鏡之定位系統(tǒng)作整合與研究,以伺服馬達(dá)為XYθZ 粗定位平臺,
并選用壓電材料與微結(jié)構(gòu)放大器作為基礎(chǔ),利用田口方法對XYθZ 細(xì)定位平臺做最佳化設(shè)計(jì)。
藉由系統(tǒng)參數(shù)鑒別技術(shù)與控制器的設(shè)計(jì),
完成具納米級定位精度的多軸長行程微/納米定位平臺的開發(fā)與研制, 使掃描探針顯微鏡
能達(dá)到更高效率的量測技術(shù)。此外,結(jié)合虛擬實(shí)境及網(wǎng)絡(luò)科技,開發(fā)出微/納米行
程回饋密閉控制系統(tǒng)供操作者使用,使得回饋裝置不僅操作介面更加簡易、人性
化,并且增加了操作時的安全性及真實(shí)性