(版權(quán)由上海光學(xué)儀器廠所有, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載注明我廠網(wǎng)址http://www.sgaaa.com)

多軸長行程微定位工具測量影像測量儀器

主要針對掃描探針顯微鏡之定位系統(tǒng)作整合與研究，以伺服馬達(dá)為XYθZ 粗定位平臺，
并選用壓電材料與微結(jié)構(gòu)放大器作為基礎(chǔ)，利用田口方法對XYθZ 細(xì)定位平臺做最佳化設(shè)計(jì)。

藉由系統(tǒng)參數(shù)鑒別技術(shù)與控制器的設(shè)計(jì)，
完成具納米級定位精度的多軸長行程微/納米定位平臺的開發(fā)與研制， 使掃描探針顯微鏡

能達(dá)到更高效率的量測技術(shù)。此外，結(jié)合虛擬實(shí)境及網(wǎng)絡(luò)科技，開發(fā)出微/納米行
程回饋密閉控制系統(tǒng)供操作者使用，使得回饋裝置不僅操作介面更加簡易、人性
化，并且增加了操作時的安全性及真實(shí)性