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電子產(chǎn)品元件晶體和導(dǎo)線尺寸檢測顯微鏡

科技上有不少革命性的發(fā)展與突破，其中最明顯是科技發(fā)展已經(jīng)邁入納米尺度的領(lǐng)域，
在許多的科技應(yīng)用中，所有的結(jié)構(gòu)與元件的大小，都是朝向“納米”尺度前進(jìn)，
也就是朝向“小”來發(fā)展。以我們現(xiàn)在所用

的電子產(chǎn)品中元件結(jié)構(gòu)為例，電晶體和導(dǎo)線尺寸都已縮小到0.25 μm(百萬分之一米)
以下，甚至已經(jīng)到達(dá)0.09 μm;在視覺檢測方面，人類的視覺只能觀察到100 μm 大
小，至于肉眼看不到的事物，可以利用一些放大功能的工具如工業(yè)放大鏡，立體顯微鏡

其倍率為數(shù)倍，乃至二、三十倍，至幾百本 最小極限約可以看到5 至10 μm，如果要進(jìn)行更細(xì)微的觀
察，就要應(yīng)用專業(yè)顯微鏡。依照顯微鏡的成像原理，大至可分為光學(xué)顯微鏡及電子顯微鏡，

不過這兩種顯微鏡還是有極限， 光學(xué)顯微鏡最小極限可以看到0.2 μm，也就是200 nm，電子顯微鏡最小極限可以看到2 nm