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測量輪廓儀的量測工件的原理簡介-測量顯微鏡廠商
測量輪廓儀的量測是使用探針與待測工件表面接觸,掃描待測工件的表面輪廓,將探針的微小變化量,
轉(zhuǎn)換成感應(yīng)電流,傳送至放大器,調(diào)整需要放大工件外形輪廓的倍率,
最后將放大后的數(shù)據(jù)紀(jì)錄傳至繪制機(jī),顯示工件的表面外形輪廓的一種儀器,原理與表面粗糙度量測儀幾乎相同,
可量測的角度、范圍都表面粗糙度量測儀來的大
測量輪廓儀的基本組件包括主機(jī)基座組、驅(qū)動器、紀(jì)錄器、放大器、探針組、資料處理器、印表機(jī)等。
1. 主機(jī)基座組
為長方型平臺,中央位置具有T型槽,可放置工件,或配合虎鉗或V型槽來固定工件,設(shè)定量測范圍后,
載物平臺或探針進(jìn)行往復(fù)移動,進(jìn)行量測
2. 驅(qū)動器
以直流伺服馬達(dá)驅(qū)動探測頭做多段變速移動,探測頭做橫向(X軸),探測頭的上下(Z)位移由差動變壓器量測,
而上下移動的部分其實是圓弧運動,因此需補正量測誤差
3. 紀(jì)錄器
探針沿著工件掃描輪廓,依其移動的軌跡將X、Z軸的輸入信號作成其紀(jì)錄
4. 放大器
負(fù)責(zé)接收探針量測到的信號,藉由放大器放大,再將放大的數(shù)據(jù)輸出至繪圖機(jī),
繪制出待測物工件的表面輪廓。
5. 探針組
探針組包含探針與測臂兩個部分