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測(cè)量顯微鏡觀察微樣本的二維結(jié)構(gòu)-測(cè)量顯微鏡

傳統(tǒng)使用感光樹脂之微制造技術(shù)皆采用
單光子光致聚合，以層層堆疊的方式，達(dá)到制作三維微結(jié)構(gòu)之目的。這個(gè)方法系將欲
制作之物件的模型圖樣，切割成許多薄層，每一薄層可視為二維結(jié)構(gòu)，將紫外光聚焦于液態(tài)
感光樹脂的最表面一層，并將此光束焦點(diǎn)依照預(yù)先規(guī)劃之二維圖樣進(jìn)行掃描，
被光束照射到之液態(tài)樹脂，將會(huì)產(chǎn)生單光子吸收光致聚合作
用，進(jìn)而達(dá)到固化樹脂之目的。

將樣本微微下降，再依相同方法固化第二層結(jié)構(gòu)，如此持續(xù)
的一層層制作，或稱其為層層堆疊，最終可達(dá)得三維結(jié)構(gòu)之目的。在此法中，由于每一層的
結(jié)構(gòu)都是使用紫外光聚焦后照射感光樹脂以達(dá)固化樹脂之目的，
因此，微結(jié)構(gòu)之橫向分辨率將受限于照射于樹脂上的光點(diǎn)大小，縱向解
析度則與每一薄層的厚度相關(guān)。使用層層堆疊的方法制作三維結(jié)構(gòu)是因?yàn)樽贤夤庥玫母泄?br>樹脂對(duì)紫外光具有很強(qiáng)的吸收，只要是被光束照射到的區(qū)域都會(huì)發(fā)生光致聚合作用而形成
固態(tài)結(jié)構(gòu)，因此要制作可移動(dòng)的物件有其先天性的困難，同時(shí)此法也限制了物件必須附著于
某一基板上，才能達(dá)到層層堆疊