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量測(cè)待測(cè)物和物鏡距離與光強(qiáng)度-工具顯微鏡
共焦原理為從光源發(fā)出之光通過(guò)透鏡后,聚焦到待測(cè)物上,
如果待測(cè)物體在焦點(diǎn)上,則反射光會(huì)通過(guò)原透鏡聚焦到光源。
以激光光為光源所量測(cè)之待測(cè)物和物鏡距離與光強(qiáng)度對(duì)應(yīng)變化之?dāng)?shù)據(jù)圖,
此數(shù)據(jù)圖斜率最大之線段每一點(diǎn)稱為工作點(diǎn),即待測(cè)物與物鏡在此距離時(shí)
會(huì)有最敏銳的縱向高度變化,工作點(diǎn)為共焦顯微術(shù)的目標(biāo)
改用LED點(diǎn)光源經(jīng)過(guò)凸透鏡后形成平行光,此光源經(jīng)過(guò)分光鏡后先反射至待測(cè)物上,
再由待測(cè)物反射光源穿透分光鏡以照射至光偵測(cè)器,得到與期望中的數(shù)據(jù)圖,
此實(shí)驗(yàn)架構(gòu)與MarvinMinsky所提出之共焦顯微術(shù)基本原理相同