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晶片上的鋁墊推結構檢測用專業(yè)立體顯微鏡

采用兩種不同方式來達到機械性質強度降低，方法為：一、一次電子燒球與二次電子燒球狀態(tài)下性質比較，
并且使用奈米硬度證明性質變化；另一方法，試片退火處理與常溫之下的兩種狀態(tài)試片，實驗與比較。

經電子燒球后的熱影響區(qū)晶粒組織改變其機械性質跟著改變，可經由腐蝕試驗觀察。

實驗所得材料性質代入數值模擬中，
發(fā)現應變硬化指數、強度系數、降服強度與摩擦系數皆會影響晶片上的鋁墊推擠變形現象
。研究中線材二次燒球與退火處理以達到降低材料強度目的，模擬時考慮摩擦系數進行分析
，其結果有助于降低焊墊的被推擠量，對銅導線的焊線接合有極重要改善