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光學(xué)放大物鏡搭配測量裝置-測定微小工件投影儀

在一般的情況之下，想要求得每一像素（pixels）實際代表的長
度，可由 CCD 規(guī)格中的感測區(qū)域（Sensing Area）尺寸
和鏡頭放大倍率來求得

  CCD感測區(qū)域尺寸 

每一像素點(diǎn)代表長度  ————————————————
  鏡頭放大倍率  CCD感測區(qū)域分辨率

在普通的情況之下，以此種推算方法來計算實際的長度不會有
多大的誤差。
但如果以此公式套用在繞射極限附近的光學(xué)放大系統(tǒng)
下，將會有極大的誤謬存在

假設(shè)此數(shù)值代表了實際可以解析的能力，那此套系統(tǒng)將具有能
解析到 0.013μm 的能力，若我們再選擇更高的 CCD 感測區(qū)域解析
度，是否就可以繼續(xù)提高分辨率，當(dāng)然，此問題的答案是否定的。
原因是這個系統(tǒng)中根本不存在有經(jīng)此放大光學(xué)系統(tǒng)放大后大小剛好
等于一個像素的光點(diǎn)。

利用上式在繞射極限附近的光學(xué)放大系統(tǒng)下
推算的誤謬在于，沒有考慮到光學(xué)系統(tǒng)的解析能力是有限的，以本
系統(tǒng)為例，在繞射效應(yīng)的限制之下，推算出的最大解析度將不會達(dá)
到 493 個，由此可知光學(xué)系統(tǒng)的調(diào)制轉(zhuǎn)移函數(shù)（Modulation Transfer
Function, MTF）將是整個分辨率上的限制。
雖然一個像素所對應(yīng)的大小，不能代表實際的尺寸，不見得有
意義，但是數(shù)十個或是數(shù)百個像素所對應(yīng)的尺寸，就擁有其不可否
認(rèn)的實際意義，但計算出來的數(shù)值，其有效的位數(shù)將被限制，在此
種不合理的情況之下，要利用此種估算的方法，較能接受的即是采
用相對比較的值