分析和檢驗(yàn)儀器-可對觀察數(shù)據(jù)自動分析的顯微鏡

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  作為微電子技術(shù)環(huán)境控制的顯微手段，其測試儀器有從最簡單的臺
式顯微鏡到當(dāng)前使用的精巧而效率很高的各種儀器，而且把放大和微觀
分析都結(jié)合在一起了。

  關(guān)于分析和檢驗(yàn)儀器的討論來看，顯微法是觀察人員從各種線索中
得到信息的唯一方法。觀察人員可采用很多方法進(jìn)行處理以獲得所需信
息；也可從最初的觀察中，看出各種情況和數(shù)據(jù)的相互關(guān)系，

  從而決定采用哪一種有效方法。顯微鏡和其它方法聯(lián)合使用，在檢
驗(yàn)工作中往往是處在第一線的。

  由于引入了自動掃描系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，定量顯微分析
近年來日益重要。在測量粒子大小的分布，樣品的其它特性中更是如此。

  上海光學(xué)儀器一廠顯微研發(fā)分析軟件可的進(jìn)一步發(fā)展促使光學(xué)顯微鏡
的數(shù)據(jù)自動處理，電子束顯微鏡分辨率和分析靈敏度方面得到更大的改進(jìn)。
在這新的領(lǐng)域中，當(dāng)前首先要做的工作是將檢驗(yàn)技術(shù)推進(jìn)到更先進(jìn)的水平，
使之能對微電子器件中很小的斑點(diǎn)進(jìn)行觀察，并獲得更高的分析靈敏度。

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