研究用的金相顯微鏡所采用的分辨率大約是0.2μm
顯微鏡需要按照以下五個基本判據(jù)進行比較:
1分辨率
3工作距離
3景深
4對樣品的限制
5放大倍數(shù)
列出放大倍數(shù)是因為通常它說明利用掃描電子顯微鏡的原因。
品制備要求或不能滿足要求所造成的后果也很重要。
分辨率研究用的金相顯微鏡所采用的分辨率大約是0. 2μm,
而良好的透射電子顯微鏡則應能分辨0.002μm.工作在例行實驗室
環(huán)境下的典型掃描電子顯微鏡能在典型樣品上分辨大約0.02μm.
景深
此參數(shù)定義為輪廓聚焦清晰的那部分樣品表面。通常,景深定義為處在
±10%精確聚焦面以內(nèi).光學顯微鏡的景深將選擇1個單位作為標準,
以此為基準,掃描電子顯微鏡具有200-300個單個的可用景深,透射電子
顯微鏡沒有景深,因為電子束要通過樣品。
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