微納幾何量指微納器件結(jié)構(gòu)的幾何尺寸-金相顯微鏡應(yīng)用

  微納幾何量是指微納器件結(jié)構(gòu)的幾何尺寸，如微梁結(jié)構(gòu)的長、寬、厚度，
微結(jié)構(gòu)臺階的高度等特征幾何尺寸。微納幾何量測試就是針對微納器件的
幾何尺寸和幾何形貌的精密測試。

常見的微納幾何量測試技術(shù)主要有顯微視覺測試技術(shù)、接觸式三維形貌
測試技術(shù)、非接觸式三維形貌測試技術(shù)、微納三坐標(biāo)測試技術(shù)以及薄膜
厚度測試技術(shù)等。

  圖像微納結(jié)構(gòu)完整性檢測與分析主窗口和檢測結(jié)果。通過這種
方法可以實(shí)現(xiàn)微納幾何圖形的完整性檢測與分析，從而實(shí)現(xiàn)微納制
造過程中加工工藝與器件結(jié)構(gòu)的在線快速檢查。

微納平面動態(tài)特性測最面板

電容式MEMS加速度計(jì)進(jìn)行平面振動測量，驅(qū)動信號為電壓幅度1.5V，偏置電壓
1V的正弦波，經(jīng)20倍增益的高壓運(yùn)算放大器放大后加載到諧振器上(實(shí)際驅(qū)動電
壓峰峰值為30V，偏置電壓為20V),頻率掃描的起始頻率為0Hz，截至頻率為
200Hz，頻率掃描間隔為1 Hz，采用運(yùn)動模糊圖像檢側(cè)技術(shù)，結(jié)合頻率掃描方法，
得到不同驅(qū)動頻率下MEMS加速度計(jì)平面振動的幅頻特性曲線。

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