政策標準微納米幾何量計量器具是指能直接或間接測出微米、納米尺度幾何量的裝置、儀器儀表、量具，包括計量基準，計量標準和工作計量器具。隨著科技水平的不斷發(fā)展和產(chǎn)業(yè)結(jié)構升級，微納米幾何結(jié)構的準確計量已經(jīng)成為制約國家重大領域關鍵部件研發(fā)、微納米產(chǎn)業(yè)貿(mào)易交接的重要前提。
 　　當前，由于測量原理不同，各類微納米幾何結(jié)構測量儀器測量結(jié)果的一致性難以保障，而產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展和大量計量檢測需求表明，目前迫切需要建立一套具有完整溯源鏈條、覆蓋多種測量原理的微納米幾何量計量器具作為基準，以滿足全國范圍內(nèi)的微納米幾何量值溯源和傳遞需求。
 　　經(jīng)過多年積累和努力，中國計量科學研究院在基于各種原理的微納米幾何量計量溯源方法、裝置、量值傳遞路線與知識技術等方面的積累日趨完善，其中多項計量能力通過了CMC的國際同行評審以及CNAS認證，在國際比對中也取得了較為滿意的比對結(jié)果，完全具備制定技術規(guī)范的能力，建立一套完整的微納米幾何量計量鏈條的時機已經(jīng)逐漸成熟。
 　　近日，全國幾何量長度計量技術委員會將完成的初稿——《微納米幾何量計量器具》溯源系統(tǒng)面向社會進行公示。有意見的專家學者可將意見反饋至秘書處。
 　　《微納米幾何量計量器具》溯源系統(tǒng)規(guī)定了微納米幾何量計量基準器具、計量標準器具和工作計量器具的用途、組成和技術指標。同時規(guī)定了從計量基準器具到計量標準器具再向工作計量器具進行量值傳遞的程序。該項溯源系統(tǒng)適用于微納米幾何量計量器具的溯源, 另外，在開展校準時也可作為量值溯源的依據(jù)。
 　　該項計量法規(guī)主要從三個層級規(guī)定了微納米幾何量計量器具的溯源及量值傳遞體系：1.描述微納米幾何量計量基準及相關內(nèi)容；2.描述微納米幾何量計量標準器具及相關內(nèi)容；3.描述微納米幾何量工作計量器具及其相關內(nèi)容。
 　　值得注意的是，在計量基準組成方面，規(guī)范指出，考慮到不同測量原理導致現(xiàn)有各類微納米測量儀器的測量不確定度、范圍不同，且不存在某一個基準裝置可以提供跨尺度、跨維度的綜合計量溯源能力，因此為了確保溯源體系能覆蓋納米和微米全范圍，全面地提供計量校準能力，該溯源體系的計量基準將主要包括以下五個標準裝置：納米幾何結(jié)構標準裝置；毫米級納米幾何結(jié)構樣板校準裝置；微納米樣板校準裝置；紫外光學二維微納幾何結(jié)構標準裝置；雙探針微納線寬校準裝置。
 　　而根據(jù)測量原理，實現(xiàn)微納米幾何量測量的工作計量器具主要包括掃描探針顯微鏡、電子顯微鏡、光學顯微鏡、粒徑粒形測量儀與膜厚測量儀等，這些微納米幾何量測量儀器的技術指標主要由測量范圍及允許誤差上限組成。
 　　微納米幾何量計量器具溯源系統(tǒng)框圖如下所示：
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