實驗用測量工件表面粗糙度和幾何圖形測量顯微鏡

.測量工件表面粗糙度和幾何圖形方法的適用性正在研究中，對于簡單的表面已得到了
和機械法側(cè)全相一致的結果.

下一步是要修正由更復雜表面所得到的結果，如車削、磨創(chuàng)和研磨的表面粗糙度.
完成了這一點，儀器公程便從現(xiàn)在的10μm擴展到1mm或更大，這將極大地提高它
的使用性能。

  顯微鏡還存在由于儀器目前的結構所強加的某些限制，例如它不能用于測量
小孔且需移動工件。
未來的工作計劃是探索更合理的結構以克服這種限創(chuàng)，例如用激光束掃描工件表
面。

  與機械式儀器相比，離子激光裝叉的價值較高.使其受到進一步的限制，但這
究競只是一方面的觀點，在那些用接觸法不合適的場合，這種類型的儀器將會有
很多用途。同時還可用于標準實驗室代替機械式儀器。

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