調(diào)焦物鏡進行聚焦一般都是最低顯微鏡倍物鏡

  聚焦用調(diào)焦物鏡進行聚焦總是應以最低倍物鏡為起點，這樣就可
以給出最大的工作距離并使物鏡軋住試樣的可能性減至最小。如果被觀
察的表面是在凹坑中（比如拆去了封裝的集成電路塊），當轉動統(tǒng)調(diào)焦
物鏡進行聚焦時必須謹慎從事，因為用高倍物鏡是不可能看清凹坑壁的。

假如能看到光源燈絲的模糊影子時，

  這表明物鏡距物體太近了，應當緩慢地退回。對于非統(tǒng)調(diào)焦的物鏡，
可把物鏡降低到剛好在試樣表面上（這時把眼睛置于物體水平面上進行
觀察，注意看著間隙）。再把物鏡從物體移開進行聚焦。

  對于配備科勒式照明器的儀器，場光闌葉片）將與物體同時聚焦。

  因此，可把光闌縮小并對準某一葉片邊緣進行聚焦。當物體是高反
光性的而使聚焦難于進行時，此種方法特別有用。

  如果所有別的辦法都不能奏效，那么就可能不得不在試樣表面上添
加塵埃來幫助聚焦工作的進行。在轉動調(diào)焦控制器的同時，使試樣稍微
縱橫移動有時也能幫助聚焦。當需要大的工作距離時，必須采用低倍物
鏡或長焦距物鏡。采用較高倍的目鏡雖能維持總的放大倍數(shù)不變，但可
能會損失分辨率

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