表面光潔度測量光學顯微鏡-金相制樣分析儀器

  （1 ）在檢測器中，如以縱向放大倍率為50萬倍，并為了測定軟弱
表面，測定力比過去要更小，必須進行50毫克以一「的設計。

  （2 ）正如上述，為了用小的測定力測量微小的位移（0.002 微米
程度），對振動要加以考慮，在機構的選擇及結構設計上是極為重要的，

  接觸式測量顯微鏡，測量頭經常接觸被測物體，如被測物體由于外部振
動影響而移動，會測得這種變動，并當作原來形狀的變化。

  此外，測量顯微鏡自身的振動，影響測量頭，這也會被測量出來。最近，
關于對表面光潔度測量顯微鏡的振動影響的研究。已有所進展，對本儀器來
說，這種振動問題就顯得更為重要了。因此，首先在設計時，總結一下
成為外部擾亂原因的現象，可分為如下幾項。

  （1 ）從外部傳來的振動干擾，是通過地板和設置臺傳來的外部振
動及人的聲音和人、物的移動而造成的空氣振動。

  （2 ）由測量顯微鏡內部的振動源而產生的干擾，送進裝置的驅動源，
由于導向裝置的摩擦產生的振動等。

  （3 ）由于其他原因產生的干擾。如由彈性變形而引起的振動等。
因溫度變化產生的熱移動，這樣，一種漂移現象就會引起干擾。

  （1 ）項及（3 ）項溫度變化引起的干擾，并非完全由于外部情況，
在進行精密測定時，要以過去的側定條件為前提而進行設計。

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